[发明专利]用于电子元件加工的静电消除系统及方法

权利要求书

1.用于电子元件加工的静电消除系统，其特征在于，包括：

检测模块，用于获取电子元件附近的电流场信号强度，并判断电流场信号强度是否超过预设强度，输出离子平衡异常标志信号；

调整模块，用于在电流场信号强度超出预设强度时，根据离子平衡异常标志信号对静电消除设备输出的正电压或负电压占比进行调整，直到电子元件附近的电流场信号强度小于预设强度为止；

统计模块，用于对电子元件进行通信，统计通信失败次数，并判断通信失败次数是否大于预设次数；

消除模块，用于在失败的次数大于预设次数时，对电子元件进行断电，然后重新上电，直到通信失败次数小于预设次数为止。

2.如权利要求1所述的用于电子元件加工的静电消除系统，其特征在于，根据离子平衡异常标志信号对静电消除设备输出的正电压或负电压占比进行调整，具体如下：

若离子平衡异常标志信号为正压偏大信号，则控制减小静电消除设备输出的正电压占比，或者增大静电消除设备输出的负电压占比；

若离子平衡异常标志信号为负压偏大信号，则控制减小静电消除设备输出的负电压占比，或者增大静电消除设备输出的正电压占比。

3.如权利要求2所述的用于电子元件加工的静电消除系统，其特征在于，电流场信号强度为采集到的多个电流场信号强度的平均值。

4.如权利要求3所述的用于电子元件加工的静电消除系统，其特征在于，预设次数为4-6次。

5.如权利要求4所述的用于电子元件加工的静电消除系统，其特征在于，通信方式为同步串行总线通信。

6.用于电子元件加工的静电消除方法，其特征在于，包括：

S1、获取电子元件附近的电流场信号强度，并判断电流场信号强度是否超过预设强度，输出离子平衡异常标志信号；

S2、在电流场信号强度超出预设强度时，根据离子平衡异常标志信号对静电消除设备输出的正电压或负电压占比进行调整，直到电子元件附近的电流场信号强度小于预设强度为止；

S3、对电子元件进行通信，统计通信失败次数，并判断通信失败次数是否大于预设次数；

S4、在失败的次数大于预设次数时，对电子元件进行断电，然后重新上电，直到通信失败次数小于预设次数为止。

7.如权利要求6所述的用于电子元件加工的静电消除方法，其特征在于，S2中，根据离子平衡异常标志信号对静电消除设备输出的正电压或负电压占比进行调整，具体如下：

A1、若离子平衡异常标志信号为正压偏大信号，则控制减小静电消除设备输出的正电压占比，或者增大静电消除设备输出的负电压占比；

A2、若离子平衡异常标志信号为负压偏大信号，则控制减小静电消除设备输出的负电压占比，或者增大静电消除设备输出的正电压占比。

8.如权利要求7所述的用于电子元件加工的静电消除方法，其特征在于，电流场信号强度为采集到的多个电流场信号强度的平均值。

9.如权利要求8所述的用于电子元件加工的静电消除方法，其特征在于，预设次数为4-6次。

10.如权利要求9所述的用于电子元件加工的静电消除方法，其特征在于，通信方式为同步串行总线通信。