[发明专利]一种用于电子束物理气相沉积的连续供料装置及方法

权利要求书

1.一种用于电子束物理气相沉积的连续供料方法，采用一种用于电子束物理气相沉积的连续供料装置，供料装置包括：载料板、水冷板、储料箱、填料机构、导料管、送料机构和水冷坩埚，其中，所述载料板和水冷板间隔布置且所述水冷板设在所述载料板上方，所述水冷板在竖直方向上设有第一通孔；所述储料箱设在所述载料板上，用于存储棒料；所述填料机构包括填料头和填料杆，所述填料头设在所述储料箱内，所述填料杆与填料头相连且沿储料箱长度方向可移动；所述导料管竖直设在所述载料板和水冷板之间且包括填料段、引导段及进料段，所述导料管的内径大于或等于棒料的直径；所述引导段的内径在所述填料段至所述进料段的方向上逐渐减小，所述引导段与所述进料段连接处的内径与进料段的内径相同；所述填料段临近所述载料板设置，所述进料段临近所述水冷板设置，所述引导段设在所述填料段与进料段之间，所述进料段与所述第一通孔连通，所述填料段设有与所述储料箱连通的第一开口，所述棒料由所述储料箱经过第一开口进入填料段；所述第一开口在导料管长度方向上的尺寸大于或等于棒料的长度；所述送料机构包括第一送料杆和第二送料杆，所述第一送料杆和第二送料杆均一端伸入所述导料管内且沿导料管长度方向可移动；冷坩埚在其厚度方向上设有第二通孔，所述第二通孔的位置与所述第一通孔的位置相对应且两者内径相同；所述水冷坩埚在其厚度方向上相对设有第一端面和第二端面，所述棒料在其长度方向上的相对设有第一侧面与第二侧面，所述第一端面与第一侧面平齐；其特征在于，所述供料方法包括如下步骤：

步骤1：将多个棒料填充至储料箱；

步骤2：启动填料机构，填料杆通过填料头推动棒料，将临近第一开口处的第一棒料推入填料段内；

步骤3：启动送料机构中所述的第一送料杆，第一送料杆伸入导料管内，并按照预定速度将第一棒料推入所述水冷坩埚的第二通孔内用于电子枪的蒸发；

步骤4：当第一棒料的第二侧面进入所述引导段后，再次启动填料机构，填料杆通过填料头推动棒料将临近第一开口处的第二棒料再次推入填料段；

步骤5：启动送料机构中所述的第二送料杆，第二送料杆伸入导料管内，所述第二送料杆将第二棒料向引导段的方向推进；

步骤6：当第二棒料的第一侧面与第一棒料的第二侧面相接触后，第一送料杆退出导料管，所述第二送料杆继续推动所述第二棒料，当所述第二棒料与所述第一棒料轴线重合后，所述第一送料杆重新伸入导料管内并与第二棒料的第二侧面相接触；

步骤7：所述第二送料杆退出导料管；

重复步骤2至7，直至所述储料箱内所有棒料均进入导料管内后，停止蒸发，并将储料箱内重新填充棒料。

2.根据权利要求1所述的连续供料方法，其特征在于，所述步骤1中的多个棒料均匀排列在储料箱内。

3.根据权利要求1所述的连续供料方法，其特征在于，所述步骤3中所述预定速度为1～5毫米/分钟。