[发明专利]表声波谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种表声波谐振器，其特征在于，包括：

基板及设置于所述基板上的压电层；

叉指换能器，设置于所述压电层的上表面；

所述叉指换能器的间隙之间设有第一介质层，至少部分所述第一介质层的下表面与所述压电层的上表面之间设有第一空腔。

2.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器将所述第一空腔分割为多个子第一空腔，相邻所述子第一空腔之间相互隔离或相互连通。

3.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所有所述间隙之间的第一介质层均与所述压电层的上表面之间具有第一空腔。

4.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器外周具有第二介质层，沉积于所述基板上与所述第一介质层连接。

5.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述第一介质层、第二介质层为一体结构，材料相同。

6.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述第一空腔为密封的第一空腔或所述第一空腔与外界相通。

7.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述第一空腔为密封的第一空腔，所述第一空腔中填充有氮气、惰性气体或空气。

8.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述第一空腔的高度为0.05um～1um。

9.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器包括：第一组叉指换能器和第二组叉指换能器，所述第一组叉指换能器至少包括一个第一导电叉指，所述第二组叉指换能器至少包括一个第二导电叉指，所述第一导电叉指和所述第二导电叉指互相平行；

还包括：第一导电凸块和第二导电凸块，所述第一导电凸块与所述第一组叉指换能器电连接，所述第二导电凸块与所述第二组叉指换能器电连接，所述第一导电凸块和所述第二导电凸块位于所述第一空腔以外。

10.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述第一介质层的材料包括碳化硅、氮化硅、蓝宝石、二氧化硅、氮化铝中的至少一种。

11.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器的材料包括金、银、钨、铂、铝、铜中的一种或多种。

12.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述基板内设有第二空腔，所述叉指式换能器位于所述第二空腔围成的区域上方。

13.根据权利要求1所述的表声波谐振器，其特征在于，所述基板内设有布拉格声波反射层，所述叉指式换能器位于所述布拉格声波反射层围成的区域上方。

14.一种表声波谐振器的制造方法，其特征在于，包括：

提供压电层；

形成牺牲层，覆盖所述压电层的第一区域；

形成介质层，覆盖所述压电层、所述牺牲层；

在所述牺牲层上方的所述介质层中形成多个纵向贯穿的容腔，至少部分所述容腔的底部延伸至所述牺牲层；

去除所述牺牲层，形成第一空腔；

在所述容腔中形成导电材料，以形成叉指换能器。

15.根据权利要求14所述的表声波谐振器的制造方法，其特征在于，通过在200度到400度，常压或低压条件下，利用化学气相沉积工艺在所述压电层上形成所述牺牲层。

16.根据权利要求14所述的表声波谐振器的制造方法，其特征在于，所述牺牲层的材料包括α-C。