[发明专利]一种涂胶显影设备的喷嘴结构在审

专利信息
申请号: 202010761216.5 申请日: 2020-07-31
公开(公告)号: CN111905940A 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 吴永利 申请(专利权)人: 芯米(厦门)半导体设备有限公司
主分类号: B05B1/30 分类号: B05B1/30;B05B15/65;G03F7/16;G03F7/30
代理公司: 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 代理人: 吴圳添
地址: 361000 福建省厦门市火炬*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 涂胶 显影 设备 喷嘴 结构
【权利要求书】:

1.一种涂胶显影设备的喷嘴结构,包括连接管(1),所述连接管(1)右侧设置有密封片(2),并且所述密封片(2)右侧与喷头(3)相连接;

其特征在于:还包括连接装置(4),所述连接管(1)左侧设置有所述连接装置(4),所述连接装置(4)包括连接环(41)、限位块(42)、流量调节机构(43)和连接架(44),所述连接环(41)与所述限位块(42)内侧以电弧焊连接,并且所述连接环(41)右侧设置有流量调节机构(43),所述连接架(44)左侧与所述连接环(41)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述流量调节机构(43)包括安装环(431)、轴承(432)、转动片(433)、转轴(434)、推动环(435)、推块(436)、转动环(437)、防滑纹(438)和密封圈(439),所述安装环(431)左侧与所述连接环(41)相连接,所述轴承(432)嵌入于所述安装环(431)中部,所述转动片(433)左侧通过所述转轴(434)与所述轴承(432)转动配合,所述推动环(435)中部设置有所述推块(436),并且所述推动环(435)外圈与所述转动环(437)相连接,所述防滑纹(438)开设于所述转动环(437)表面,所述密封圈(439)右侧与所述转动环(437)紧密粘附。

3.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述限位块(42)相互对称设置有两个,并且两个所述限位块(42)形状相同。

4.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述连接架(44)右侧外径与所述连接管(1)相同,并且所述连接架(44)与所述连接管(1)相互平行安装。

5.根据权利要求2所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述转动片(433)设置有七片,并且七片所述转动片(433)形状大小相同。

6.根据权利要求2所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述转动环(437)外径与所述推动环(435)相同,并且所述推动环(435)与所述转动环(437)相互平行安装。

7.根据权利要求2所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述防滑纹(438)开设有两条以上,并且每条所述防滑纹(438)深度相同。

8.根据权利要求2所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述密封圈(439)厚度为2mm,并且所述密封圈(439)与所述转动环(437)平行安装。

9.根据权利要求2所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述流量调节机构(43)的侧面包括多个矩形平面,多个所述矩形平面两两相邻以在所述流量调节机构(43)侧面形成多个凸角。

10.根据权利要求9所述的一种涂胶显影设备的喷嘴结构,其特征在于:所述连接架(44)包括一个连接圆环和四个连接曲轴;四个所述连接曲轴一端连接在所述连接架(44)内侧面,四个所述连接曲轴另一端连接在所述流量调节机构(43)。

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