[发明专利]全自动目检机的晶圆检测系统

权利要求书

1.一种全自动目检机的晶圆检测系统，其包括晶圆载架、在线目检机构，其特征在于：所述晶圆载架包括架座、能够绕着自身的径向自由转动地设置在所述架座上的架环、设置在所述架环上且能够形成与晶圆外径匹配定位区的支撑部件、设置在所述架环上且能够同步抵触在所述晶圆周边的夹持部件，其中在所述夹持部件的端面上形成有与所述晶圆边缘匹配的卡槽，所述卡槽和所述晶圆的周边点或线接触；

所述晶圆检测系统还包括设置在所述架座上且用于驱动所述架环自由转动的第一翻转机构、用于驱动所述的架座绕着竖直方向延伸的中心自由转动的第二翻转机构，其中所述的第一翻转机构的转动轴心线与所述第二翻转机构的转动轴心线相交设置。

2.根据权利要求1所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：所述的支撑部件包括多个沿着所述架环的径向向所述架环中部延伸的支撑模块，其中多个所述支撑模块远离所述架环的端部形成所述的定位区。

3.根据权利要求2所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：多个所述支撑模块关于所述架环的转动中心线对称分布在两个所述架环上。

4.根据权利要求1所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：所述夹持部件包括多个沿着所述架环的径向向所述架环中部延伸的夹持模块、以及驱动多个所述夹持模块同步运动以夹持或脱离所述晶圆的动力器，其中所述卡槽位于每个所述夹持模块远离所述架环的端面上。

5.根据权利要求4所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：在所述架环上设有沿着所述架环径向延伸的滑轨，所述的滑轨至少有两条，所述动力器与所述滑轨一一对应设置，且多个所述的动力器同步运动。

6.根据权利要求5所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：所述的滑轨有两条，且位于同一条直线上，其中两条滑轨的连线与所述架环的转动中心线平行设置；

每个所述动力器包括对应滑动设置在所述滑轨上的器座、用于将所述的器座和多个所述夹持模块远离所述卡槽的端部相衔接的弧形连接条、以及驱动所述器座在所述滑轨上直线运动的驱动件；其中所述弧形连接条对应设有两个，多个所述的夹持模块关于所述转动中心线对称分布在两个所述弧形连接条上。

7.根据权利要求5所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：所述卡槽的深度为0.1~2.0mm。

8.根据权利要求1所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：在所述架环对应转动中心线的一侧形成避让取送机械手取放晶圆的缺口，并呈C型，所述的支撑部件和所述夹持部件对应设置在C型的所述架环上。

9.根据权利要求1所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：所述的架座包括呈圆形成的架盘、自所述架盘内部向上延伸的两根架臂，所述架环分别通过枢轴转动连接两根所述架臂之间，且两根所述架臂能够避让所述架环的转动。

10.根据权利要求9所述的全自动目检机的晶圆检测系统，其特征在于：所述的第一翻转机构包括设置在所述架臂上的翻转马达、用于将所述翻转马达与所述枢轴传动连接的第一传动件；所述的第二翻转机构包括设置在目检机架板上的翻转座、设置在所述的翻转座内且竖直延伸的转轴、驱动马达、用于将所述驱动马达和所述转轴传动连接的第二传动件，其中所述转轴的上端部通过连接件固定在所述架盘底部，所述转轴的中心与所述架盘的中心重合。