[发明专利]一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置

权利要求书

1.一种蒸镀喷嘴，其特征在于，包括：

喷嘴部和连接所述喷嘴部的过滤部，所述喷嘴部和所述过滤部为中空结构且所述过滤部的侧壁上设有多个连通孔；

所述连通孔的开口大小在沿靠近所述喷嘴部的方向上逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述过滤部包括至少两个阻挡板，所述至少两个阻挡板沿所述过滤部指向所述喷嘴部的方向上间隔设置于所述过滤部内部，所述阻挡板开设有多个通气孔。

3.根据权利要求2所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，相邻两个所述阻挡板上的通气孔在参考平面上的正投影彼此错位，所述参考平面垂直于从所述过滤部指向所述喷嘴部的方向。

4.根据权利要求2所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，

各所述阻挡板的所述多个通气孔的分布密度沿所述过滤部指向所述喷嘴部的方向上依次增大；和/或

各所述阻挡板的所述通气孔的开口大小沿所述过滤部指向所述喷嘴部的方向上依次增大。

5.根据权利要求1-4任一所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述蒸镀喷嘴还包括盖板组件，所述盖板组件为中空结构且与所述喷嘴部可拆卸连接；其中，

所述盖板组件包括反射板，其中当所述盖板组件盖设于所述喷嘴部时，所述反射板绕设于所述喷嘴部的外围。

6.根据权利要求5所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述反射板和所述喷嘴部呈锥台形。

7.根据权利要求5所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述喷嘴部设有第一扣合部，所述盖板组件还包括第二扣合部，所述第一扣合部和所述第二扣合部能够相互扣合。

8.根据权利要求1-4任一所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述连通孔为圆形孔或长条形孔。

9.一种蒸镀点源装置，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的蒸镀喷嘴和蒸镀坩埚，所述蒸镀喷嘴的过滤部嵌设于所述蒸镀坩埚内。