[发明专利]一种红外热探测器及其制作方法

权利要求书

1.一种红外热探测器，其特征在于，包括：

控制电路（10）；

与所述控制电路（10）连接的红外热敏单元（20）；以及

设置在所述控制电路（10）上的封装结构（30）；

其中，所述控制电路（10）包括信号读出电路接口（101）和信号产生电路接口（102）；

其中，所述封装结构（30）包括框架（301）、盖帽（302）、加热器（303）和控制线（304）；所述框架（301）固定在所述控制电路（10）上，其中所述框架（301）的底端固定在所述信号产生电路接口（102）上；所述盖帽（302）悬置于所述框架（301）上，并与所述框架（301）形成包围所述红外热敏单元（20）的闭合空腔；所述加热器（303）位于所述盖帽（302）上；所述控制线（304）分别位于所述盖帽（302）上和所述框架（301）中，其中所述加热器（303）通过所述控制线（304）与所述信号产生电路接口（102）电学连接。

2.根据权利要求1所述的红外热探测器，其特征在于，所述红外热敏单元（20）包括支撑梁（201）、悬臂梁（202）、敏感区（203）和信号线（204）；

其中，所述支撑梁（201）纵向垂直固定在所述控制电路（10）上，其中所述支撑梁（201）的底端固定在所述信号读出电路接口（101）上；所述悬臂梁（202）的一端与所述支撑梁（201）相连，另一端与所述敏感区（203）相连；

所述敏感区（203）悬空设置；所述信号线（204）内嵌于所述支撑梁（201）和悬臂梁（202）中，所述敏感区（203）通过所述信号线（204）与所述信号读出电路接口（101）电学连接。

3.根据权利要求1所述的红外热探测器，其特征在于，所述红外热敏单元（20）包括支撑梁（201）、悬臂梁（202）、敏感区（203）、信号线（204）和红外热敏单元衬底（205），所述红外热敏单元衬底（205）上设置有凹槽；

其中，所述支撑梁（201）横向垂直固定在所述控制电路（10）上，其侧面与所述信号读出电路接口（101）连接，其底部与所述红外热敏单元衬底（205）连接；所述悬臂梁（202）的一端与所述支撑梁（201）相连，另一端与所述敏感区（203）相连；所述敏感区（203）位于所述红外热敏单元衬底（205）的凹槽的上方，并悬空设置；所述信号线（204）内嵌于所述支撑梁（201）和悬臂梁（202）中，所述敏感区（203）通过所述信号线（204）与所述信号读出电路接口（101）电学连接。

4.一种红外热探测器的制作方法，其特征在于，所述红外热探测器的制作方法包括：

提供控制电路（10），在所述控制电路（10）上淀积金属或半导体，并图形化，形成信号读出电路接口（101）和信号产生电路接口（102）；

淀积牺牲层（40），并图形化，在所述信号读出电路接口（101）上形成第一开口；

在所述牺牲层（40）上形成红外热敏单元（20）；

在所述控制电路（10）上形成封装结构（30）；

其中，所述封装结构（30）包括框架（301）、盖帽（302）、加热器（303）和控制线（304）；所述框架（301）固定在所述控制电路（10）上，其中所述框架（301）的底端固定在所述信号产生电路接口（102）上；所述盖帽（302）悬置于所述框架（301）上，并与所述框架（301）形成包围所述红外热敏单元（20）的闭合空腔；所述加热器（303）位于所述盖帽（302）上；所述控制线（304）分别位于所述盖帽（302）上和所述框架（301）中，其中所述加热器（303）通过所述控制线（304）与所述信号产生电路接口（102）电学连接；

其中，所述红外热敏单元（20）的支撑梁（201）底端固定在所述信号读出电路接口（101）上。