[发明专利]一种电镜真空转移台

权利要求书

1.一种电镜真空转移台，其特征在于：包括电机驱动模块、真空腔室密封模块、扫描电镜和电气控制模块；扫描电镜安装在真空腔室密封模块中，电气控制模块对电机驱动模块进行驱动控制，电机驱动模块用以控制真空腔室密封模块的开启和密闭；

电机驱动模块整体安装在真空转移台底座上，驱动电机通过齿轮传动带动传动丝杠旋转，传动丝杠与丝杠螺母套相配合，丝杠螺母套推动密封板推动杆实现直线运动，使真空腔室密封模块的密封板开启或密封，真空腔室密封模块的密封升降安装板底部与密封升降凸轮板相接触；密封升降安装板的底部压在密封升降凸轮板的表面；密封板推动杆与密封板铜套座相连接，密封板铜套座与密封板连接，用以密封板的水平横移；电气控制模块的微动传感器安装在丝杠螺母套上。

2.根据权利要求1所述的一种电镜真空转移台，其特征在于：微动传感器与电机驱动模块的驱动电机相连，用以控制驱动电机开启或者关闭。

3.根据权利要求1所述的一种电镜真空转移台，其特征在于：电机驱动模块由驱动电机、电机安装板、传动主齿轮、传动从齿轮、轴承安装座、传动丝杠、直线导轨、开启限位板、丝杠螺母套、导轨滑块、密封限位板、密封升降凸轮板和密封板推动杆组成；驱动电机的端部通过电机安装板固定在真空转移台底座上，驱动电机的输出轴与传动主齿轮连接，传动主齿轮与传动从齿轮相啮合；传动从齿轮与传动丝杠连接，传动丝杠安装在轴承安装座上；真空转移台底座上设有直线导轨，传动丝杠与导轨滑块通过螺纹配合安装在一起，导轨滑块与直线导轨之间为滑动配合；丝杠螺母套安装在导轨滑块上；开启限位板安装在丝杠螺母套的顶部一侧，开启限位板能够在丝杠螺母套上滑动，密封限位板安装在丝杠螺母套的顶部另一侧且与开启限位板相对应，微动传感器安装在密封限位板上；密封板推动杆竖直固定在丝杠螺母套侧部，密封升降凸轮板水平固定在真空转移台底座上。

4.根据权利要求1所述的一种电镜真空转移台，其特征在于：真空腔室密封模块由密封板铜套座、固定板、密封升降安装板、密封板升降拉簧、密封腔室升降弹簧、样品台固定柱、升降导柱、平移导柱安装座、平移导柱、升降密封腔室、密封板、平移密封圈和升降密封圈组成；扫描电镜由样品台组件和透射电镜铜网组成；固定板安装在密封升降安装板的两侧，密封升降安装板的底部设有密封板升降拉簧，透射电镜铜网放置在样品台组件上，样品台组件安装固定在样品台固定柱上，样品台固定柱的底部两侧的升降导柱上设有密封腔室升降弹簧；密封板铜套座与平移导柱之间为滑动配合，平移导柱的端部安装在平移导柱安装座上；升降密封腔室的顶部通过平移密封圈与密封板连接密封；升降密封腔室与样品台固定柱之间设有升降密封圈进行密封。

5.根据权利要求1或3所述的一种电镜真空转移台，其特征在于：所述密封升降凸轮板为弧面和直线结构，弧面和直线之间通过圆弧过渡连接在一起；密封升降安装板的底部设有圆形滑块，圆形滑块与密封升降凸轮板相接触；通过圆形滑块沿密封升降凸轮板运动，实现真空腔室密封模块的升降。

6.根据权利要求1或3所述的一种电镜真空转移台，其特征在于：整个透射电镜铜网密封在由升降导柱、升降密封腔室和密封板构成的密封腔室里，并由平移密封圈和升降密封圈密封；保证整个密封腔室的密闭性；在密封腔室的密封或开启过程中，样品台固定柱是不动的，升降密封腔室做升降运动，密封板做升降及平移运动。

7.根据权利要求1或4所述的一种电镜真空转移台，其特征在于：扫描电镜能够用FIB设备替换。