[发明专利]一种阳极氧化铝多孔膜的单面密封方法

说明书

本发明公开了一种阳极氧化铝多孔膜的单面密封方法，包括以下步骤：S1：取阳极氧化铝多孔膜，放置于一夹具的下夹板上；S2：取有内部密封有气体或者液体的环形的塑料膜密封袋，放在阳极氧化铝多孔膜的边缘，S3：将夹具的上夹板放在塑料膜密封袋上；S4：固定夹具的上夹板和下夹板，并调节上夹板施加在塑料膜密封袋上的压力，完成密封；S5：密封结束后，进行溶液密封测试。本发明是一种完全可逆的纯物理密封方法，能够充分保护阳极氧化铝多孔膜，不需要专门粘结剂、或者聚合物图层，装置简单，密封可靠，可有效保护柔脆的阳极氧化铝多孔膜。

技术领域

本发明涉及阳极氧化铝多孔输液器滤膜制备领域，特别涉及其中的阳极氧化铝多孔膜的单面密封环节。

背景技术

当前的阳极氧化铝多孔膜制备主要基于湿法工艺。为了获取自支撑的单层阳极氧化铝多孔膜滤层，湿法工艺中通常需要对样件的单面进行保护，只让另外一面进行湿法操作，例如去除残留铝、去除氧化铝阻挡层、扩孔等。由于经过阳极氧化后，氧化铝材料硬度高，脆性大，此外由于厚度达到数十微米，故样件还具有一定的柔性。总体上阳极氧化铝样件既有柔性，又具有硬脆特性，因此样件在实施密封夹持的过程中，一旦变形超过限度，即发生脆断。

目前，常见的密封办法为：在阳极氧化铝样件表面旋涂一层聚合物薄膜，对单面进行保护。但实际上，旋涂过程中也需要进行夹持，并高速旋转，这个过程中依然会有发生各种脆断的几率。发明专利CN 105405802 A中，提出了在常规夹具中进行弹性缓冲的密封方法，可以对晶圆进行湿法腐蚀保护。发明专利CN104599964B中，提出了一种用黑胶涂覆方法的硅片湿法刻蚀保护方法，该方法采用的黑胶的抗腐蚀性能好，但是去除起来比较复杂。专利CN102834550B中提出了一种连续阳极氧化装置，铝箔深入电解液中，将铝箔的两个边缘在张力下用非导电压缩带子覆盖，以防止电解液流动到接触表面中，实现铝箔的单面保护。发明专利CN102214732A和CN105932113B中，提出了用喷水的方法在非刻蚀面形成保护膜，阻止刻蚀液的侵蚀，这种方法适用于较厚的样品，例如太阳能电池，而对于数十微米厚的阳极氧化铝膜，极容易受到液体表面张力作用，以及夹持过程中，受到破损。

综上所述，如何在有效保护样件不脆断的情况下，又能够实现密封，这是急需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种阳极氧化铝多孔膜的单面密封方法，在有效保护样件不脆断的同时实现密封。

实现本发明目的的技术方案是：一种阳极氧化铝多孔膜的单面密封方法，包括以下步骤：

S1：取阳极氧化铝多孔膜，放置于一夹具的下夹板上；

S2：取有内部密封有气体或者液体的环形的塑料膜密封袋，放在阳极氧化铝多孔膜的边缘；

S3：将夹具的上夹板放在塑料膜密封袋上；

S4：固定夹具的上夹板和下夹板，并调节上夹板施加在塑料膜密封袋上的压力，完成密封；

S5：密封结束后，进行溶液密封测试。

所述塑料膜密封袋的截面形状为圆形、方形、环形或者U型。

所述塑料膜密封袋的截面外围尺寸为5～30毫米。

所述塑料膜密封袋的整体外围尺寸为50～500毫米。密封袋截面的外围尺寸从5毫米至30毫米。

所述塑料膜密封袋由柔性聚合物薄膜制成，如聚乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜等。

所述上夹板呈环形。

所述上夹板施加在塑料膜密封袋上的压力为1kPa～0.4MPa。

所述溶液密封测试具体为：将密封后的阳极氧化铝多孔膜，放置于0.3摩尔/升的草酸溶液中，样品低于液位表面10厘米，保持30分钟以上时间，取出样品，吹干，卸载上夹板和下夹板，检查密封面是否有溶液渗漏现象。