[发明专利]一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器在审
| 申请号： | 202010770017.0 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111847406A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 先普半导体技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00;B01D53/81;B01D53/75;B01D46/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 蒸散 吸气 惰性气体 纯化 | ||
1.一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，其特征在于：包括蒸散型吸气剂、吸气剂支架、玻璃管道、法兰、过滤网，其中吸气剂支架在玻璃管道的内部，蒸散型吸气剂固定在支架上，法兰封接在玻璃管道上，玻璃管道两端内置过滤网。
2.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，其特征在于：所述蒸散型吸气剂采用外径大于5mm，高度大于0.8mm的蒸散型吸气剂。
3.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，其特征在于：所述的吸气剂支架是耐热陶瓷片或玻璃片，吸气剂与支架固定在一起；吸气剂支架：长度大于15mm，宽度大于5mm，高度大于5mm。
4.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，其特征在于：所述的玻璃管道：采用外径（16-200）mm，长度大于100mm的耐高温石英玻璃作为管道，管道内表面同时作为吸气剂蒸散后释出钡膜的载体，纯化过程中惰性气体中的杂质气体在管道内表面与钡膜发生反应而被消除。
5.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，其特征在于：所述法兰采用不锈钢标准法兰，便于与被纯化系统管道的连接。
6.根据权利要求1所述的一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，其特征在于：所述过滤网6采用目数大于60目不锈钢过滤网，过滤气体中的固体杂质，防止固体杂质进入被纯化的系统。
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