[发明专利]基板的偏心降低方法及示教装置

说明书

本发明提供一种能够避开缺口测量基板周边的位置，并高精度地降低基板的偏心量的技术。在第一工序中使基板(W)旋转。在第二工序中，摄像头依次拍摄基板的周边，获取多个图像(IM1)。在第三工序中，针对多个图像执行缺口检测处理。在第四工序中，将在多个图像内沿着第一轴延伸的测量区域(MR1)在第二轴上的位置设定为：测量区域在多个图像的任一个中均不包含缺口(NT1)而包含基板的周边。在第五工序中，针对包含基板的旋转位置和测量区域中的基板的周边的位置的绘图点，进行曲线插值处理求出正弦波。在第六工序中，根据该正弦波求出以缺口的位置为基准的基板的偏心。在第七工序中使基板移动，以降低基板的偏心。

技术领域

本申请涉及一种基板的偏心降低方法及示教装置。

背景技术

以往，在将圆板状基板以水平姿势保持并使该基板在水平面内旋转的基板保持机构中，提及一种测量基板偏心的技术(例如，专利文献1)。在专利文献1中，以俯视时与基板周边交叉的方式设置线性传感器。线性传感器在基板旋转过程中针对每个规定的旋转角度测量该延伸方向上的基板周边的位置，并向控制部输出该测量值。线性传感器例如针对基板的每次旋转测量基板周边的位置。

基板旋转一圈的过程中，通过线性传感器测量到的测量值组(测量波形)呈与基板的偏心对应的正弦形状。但是，在专利文献1中，因为在基板的周边形成有缺口，所以，测量波形在与缺口对应的位置偏离正弦形状。控制部利用测量波形中与缺口对应的测量值之外的测量值来计算基板的偏心量(偏置量)。

专利文献1：日本特开2015-211205号公报

但是，在专利文献1中，因为线性传感器针对每次旋转来测量基板的周边，所以，该测量波形包含有与缺口对应的凹部。因为该凹部不能用于计算基板的偏心量，所以，这样的测量是无用的。

另外，线性传感器相对于基板的设置位置能够随着时间变化等而变动。由此，若要以线性传感器的位置为基准降低基板的偏心量，则不能够高精度地降低基板的偏心量。

发明内容

因此，本申请的目的在于提供一种能够避开缺口地测量基板周边的位置，并能够高精度地降低基板的偏心量的技术。

基板的偏心降低方法的第一方式包括：第一工序，将周边具有缺口的基板保持为水平，并使所述基板围绕沿铅垂方向的旋转轴旋转；第二工序，摄像头在所述基板的旋转过程中依次拍摄所述基板的所述周边，获取多个包括相互垂直的第一轴和第二轴的二维图像，所述摄像头在铅垂方向上与所述基板的所述周边相向；第三工序，在多个所述图像的每一个图像中执行用于检测所述基板的所述缺口的缺口检测处理；第四工序，将沿着在多个所述图像内，所述第一轴延伸的测量区域在所述第二轴上的位置设定为，所述测量区域在多个所述图像的任一个中均不包含所述缺口而包含所述基板的所述周边；第五工序，针对绘图点进行曲线插值处理并求出正弦波，所述绘图点包括获取到多个所述图像中的每一个图像时的所述基板的各个旋转位置、以及多个所述图像中的每一个图像的所述测量区域中的所述基板的所述周边在所述第一轴上的位置；第六工序，根据通过所述第五工序求出的所述正弦波，求出以所述缺口的位置为基准的所述基板的偏心；以及第七工序，以所述缺口的所述位置为基准使所述基板移动，以降低通过所述第六工序求出的所述基板的偏心。

基板的偏心降低方法的第二方式，其中，在所述第二工序中，所述摄像头对每个第一旋转角度拍摄所述基板的所述周边；在所述第四工序中，在包含从所述缺口偏离第二旋转角度的区域的位置上设定所述测量区域，所述缺口包含于多个所述图像的一个中，所述第二旋转角度比所述第一旋转角度更小。

基板的偏心降低方法的第三方式，其中，所述测量区域的在所述第二轴上的像素数为两个以上，若将在所述测量区域中沿所述第一轴排列的多个像素称作像素行，则在所述第三工序中，将所述测量区域内的多个像素行中的所述基板的所述周边的位置平均化，求出所述测量区域内的所述基板的所述周边的位置。