[发明专利]一种硫代钼酸铵复合多孔非晶碳超滑薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种硫代钼酸铵复合多孔非晶碳超滑薄膜的制备方法，包括以下步骤：

（1）高结合力过渡层的制备：将基体经超声清洗后，放入真空室，将真空室抽至1×10^-3Pa，磁控溅射Ti0.7Ni0.3靶：磁控溅射电流5A，离子源电压1300-1500V、脉冲宽度100-400微秒，氩气1Pa，偏压200V，沉积时间20分钟；然后通入氩气13%的氮气，保持上述条件不变，沉积时间40分钟，在基体上获得过渡层；

（2）非晶多孔碳薄膜的制备：采用反应磁控溅射制备非晶多孔碳薄膜，采用含铝10%的铝碳复合靶，反应气体为氩气、四氟化碳、氢气和氧气，流量比2:1:1:0.2，气压保持在1~3Pa；磁控溅射电流4A；沉积时间为40~60分钟，获得非晶多孔碳薄膜；

（3）硫代钼酸铵溶液的制备：将硫代钼酸铵固体粉末溶于去离子水中，并经超声磁力搅拌，得到浓度为1~3%的硫代钼酸铵溶液；

（4）硫代钼酸铵复合多孔非晶碳超滑薄膜的制备：将步骤（2）制备的非晶多孔碳薄膜浸渍在硫代钼酸铵溶液中，保持4~5小时，取出自然风干后，即得硫代钼酸铵复合多孔非晶碳超滑薄膜。

2.如权利要求1所述一种硫代钼酸铵复合多孔非晶碳超滑薄膜的制备方法， 其特征在于：步骤（1）中，基体为不锈钢、齿轮钢、轴承钢中的一种。

3.如权利要求1所述一种硫代钼酸铵复合多孔非晶碳超滑薄膜的制备方法， 其特征在于：步骤（3）中，所述硫代钼酸铵为三硫代钼酸铵、四硫代钼酸铵、五硫代钼酸铵中的一种。

4.如权利要求1所述一种硫代钼酸铵复合多孔非晶碳超滑薄膜的制备方法， 其特征在于：步骤（3）中，超声功率500W，频率200Hz，旋转速度10圈/分钟。