[发明专利]一种柔性电子器件的制备装置及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性电子器件的制备装置，其特征在于：包括安装基板、安装在所述安装基板上的移动平台、受移动平台驱动的注射机构、用于辅助注射机构的喷气机构和用于放置载玻片的Z轴平台；

所述移动平台包括安装在所述安装基板上的两个平行设置的Y轴平台和安装在两个Y轴平台之间的X轴平台，所述X轴平台的两端安装在Y轴平台上以使X轴平台在Y轴方向上移动；

所述Z轴平台的底部安装在所述安装基板上，且该Z轴平台位于2个Y轴平台之间，用于承接注射机构向Z轴平台注射的离子凝胶，所述Z轴平台的底部设有升降组件以用于调节高度；

所述注射机构包括注射桶、注射泵、注射针筒、注射针头和注射泵控制器，所述注射桶通过安装辅件安装在所述X轴平台上以用于所述注射桶沿X轴方向上移动，所述注射泵设置在注射桶内，所述注射针筒竖直设置在所述注射桶的一侧并通过注射泵7驱动从注射针筒8的出料端排出离子凝胶，离子凝胶通过一管道通入该注射针筒内，所述注射针筒的出料端与注射针头的进料端连接以用于离子凝胶通过注射针头向载玻片注射；

所述喷气机构包括喷气筒和喷气头，所述喷气筒竖直安装在所述注射桶上，所述喷气筒与所述注射针筒平行设置，且该喷气筒与注射针筒设置在注射桶的同一侧，所述喷气头的出气端与喷气头的进气端连接以用于在注射离子凝胶时从喷气头喷出冷气，所述喷气筒顶部的进气端通过管路与外部的输气装置连通。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于：每个所述Y轴平台包括Y轴轨道、Y轴丝杠和Y轴皮带，所述Y轴丝杠安装在所述Y轴轨道内，所述Y轴皮带绕在所述Y轴轨道的两端之间，所述Y轴丝杠上设有丝杠螺母，且该丝杠螺母与Y轴皮带相配合，所述X轴平台的底部通过连接件与Y轴皮带连接以使X轴平台沿Y轴方向移动。

3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于：每个Y轴平台的底部两端设有支撑座，所述支撑座固装在所述安装基板上。

4.根据权利要求3所述的制备装置，其特征在于：所述X轴平台包括X轴轨道、X轴丝杠和X轴皮带，所述X轴丝杠安装在所述X轴轨道内，所述X轴皮带绕在所述X轴轨道的两端之间，所述X轴丝杠上设有丝杠螺母，且该丝杠螺母与X轴皮带相配合，所述注射机构安装在X轴平台上，以用于在X轴丝杠的驱动下带动注射机构沿X轴方向移动。

5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于：所述注射泵控制器与注射泵电连接以用于控制注射泵排液的速度及体积。

6.根据权利要求5所述的制备装置，其特征在于：所述制备装置还包括移动平台控制器，所述移动平台控制器与X轴平台、Y轴平台电连接以用于控制移动平台的运行。

7.根据权利要求6所述的制备装置，其特征在于：所述注射针筒的顶部设有卡块，所述注射泵通过卡块与注射针筒固装，用于在注射泵的作用下卡块推送注射针筒内的离子凝胶向外注射。

8.根据权利要求7所述的制备装置，其特征在于：所述注射桶上设有用于卡装固定所述注射针筒的卡箍。

9.根据权利要求8所述的制备装置，其特征在于：所述喷气口的孔径为2μm-1mm。

10.一种基于权利要求9所述的柔性电子器件的制备装置的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将预先准备好的载玻片放置到Z轴平台上，并调整载玻片在Z轴平台上的位置及Z轴平台的高度；

(2)启动移动平台，带动注射机构在X轴及Y轴方向运动，启动注射泵，并控制注射针筒排出离子凝胶的速度和体积，离子凝胶通过注射针筒向外载玻片注射形成网格状的介电层，喷气筒同时运行，并向介电层喷出冷气，分别控制移动平台和注射泵，对注射形成的每层介电层控制，完成柔性电子器件的制备。