[发明专利]基于2T3R型柔性运动副的微定位平台

权利要求书

1.基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其包括基座、动平台、第一柔性支链、第二柔性支链以及驱动器，所述第一柔性支链、所述动平台位于XY平面内并且所述第一柔性支链分布在所述动平台四周，所述第二柔性支链位于Z轴方向上并且位于所述基座和所述动平台之间，其特征在于：所述第一柔性支链包括呈一字形的柔性模块一、与所述柔性模块一垂直设置的连接杆、与所述柔性模块一垂直设置的柔性模块二，所述柔性模块一包括中部刚性连接部和位于所述中部刚性连接部两侧的簧片，所述连接杆一端与所述中部刚性连接部连接，另一端与所述柔性模块二连接，所述柔性模块二与所述动平台连接；所述第二柔性支链包括呈十字形的柔性模块三、与所述柔性模块三垂直设置的连接杆、与所述柔性模块三垂直设置的柔性模块二，所述柔性模块三包括中心刚性连接部和位于所述中心刚性连接部四周的簧片，所述连接杆一端与所述中心刚性连接部连接，另一端与所述柔性模块二连接，所述柔性模块二与所述动平台连接；所述柔性模块二包括呈方形的刚性连接框、柔性杆、刚性连接块一和刚性连接块二，所述柔性杆一端分别与刚性连接框四条边框的中点连接，其中相对的两根所述柔性杆与刚性连接块一连接，另外两根所述柔性杆分别与刚性连接块二连接，所述刚性连接块一与所述连接杆连接，所述刚性连接块二与所述动平台连接。

2.根据权利要求1所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述驱动器包括X向驱动器、Y向驱动器和Z向驱动器，两根相邻的第一柔性支链分别与所述X向驱动器和所述Y向驱动器连接，所述X向驱动器和所述Y向驱动器分别与所述中部刚性连接部连接，所述第二柔性支链与所述Z向驱动器连接，所述Z向驱动器与所述中心刚性连接部连接。

3.根据权利要求1或2所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于所述中部刚性连接部两侧的簧片一端与所述中部刚性连接部连接另一端连接有刚性固定连接部一，位于所述中心刚性连接部四周的簧片一端与所述中心刚性连接部连接另一端连接有固定连接部二，所述固定连接部二与所述基座连接，所述固定连接部一与所述基座的支柱连接。

4.根据权利要求3所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述基座呈方形，所述固定连接部二与所述基座每条边的中点连接，所述支柱位于所述基座相邻两条边的连接点处。

5.根据权利要求4所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于XY平面内，用于连接所述驱动器的安装支架分别与所述固定连接部一连接；在Z轴方向上，用于连接所述驱动器的安装支架与基座底部连接。

6.根据权利要求1所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于所述中部刚性连接部两侧的簧片分别有两个并且平行设置并且其与连接在中部刚性连接部上的连接杆垂直设置。

7.根据权利要求1或6所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于所述中心刚性连接部四周的簧片分别有两个并且平行设置并且其与连接在中心刚性连接部上的连接杆垂直设置。

8.根据权利要求1所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：同一个所述柔性模块一同时连接有两根平行设置的所述连接杆和两个所述柔性模块二。

9.根据权利要求1或8所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述第二柔性支链包括四根所述连接杆和四个所述柔性模块二，四个所述连接杆和所述柔性模块二呈十字形连接在所述中心刚性连接部上，相对的两个所述柔性模块二平行设置，相邻的两个所述柔性模块二垂直设置。

10.根据权利要求1所述的基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述刚性连接块二呈长方体形状，当所述刚性连接块二与所述动平台连接时，其上表面与所述动平台上表面平行。