[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202010776831.3 申请日: 2020-08-05
公开(公告)号: CN112750839A 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 赤穂雅之;野口充宏;辰巳雄一 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/11529 分类号: H01L27/11529;H01L27/11556;H01L27/11573;H01L27/11582
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,具备:

衬底;

多个第1配线层,在与所述衬底的表面交叉的第1方向积层,并包含多个导电构件;及

第2配线层,比所述多个第1配线层离所述衬底更远,并包含焊垫电极;且

所述多个第1配线层分别具备从所述第1方向观察时与所述焊垫电极重叠的焊垫区域,

在所述焊垫区域的以第1点为中点的第1假想圆的内侧区域,未设置所述导电构件,

在所述焊垫区域的以所述第1点为中点且半径为所述第1假想圆的半径以上的第2假想圆的外侧区域,设置有以特定图案配置的所述导电构件、或配置在该整个区域的所述导电构件,

如果将所述第1假想圆的半径设为R1,将所述第2假想圆的半径设为R2,那么R2/R1小于1/cos(π/4)。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中

所述第1假想圆的直径小于所述焊垫电极的与所述第1方向交叉的第2方向的宽度。

3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中

所述第1假想圆的直径大于所述焊垫电极的与所述第1方向交叉的第2方向的宽度。

4.根据权利要求1所述的半导体装置,其中

在所述第1假想圆的内侧,包含对应于所述焊垫电极与焊接线的接触面的区域。

5.根据权利要求1所述的半导体装置,其中

R2/R1小于1/cos(π/8)。

6.根据权利要求1所述的半导体装置,其中

在所述焊垫区域的所述第2假想圆的整个外侧区域,设置有所述导电构件。

7.根据权利要求1所述的半导体装置,其中

在所述焊垫区域的所述第2假想圆的外侧区域,以特定图案设置有所述导电构件,且

所述导电构件包含多个第1导电构件,所述多个第1导电构件在与所述第1方向交叉的第2方向延伸,且沿与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向排列,

在所述多个第1导电构件之间,设置有在所述第2方向延伸的绝缘构件。

8.根据权利要求1所述的半导体装置,其中

在所述焊垫区域的所述第2假想圆的外侧区域,以特定图案设置有所述导电构件,且

所述导电构件包含:

多个第1导电构件,在与所述第1方向交叉的第2方向延伸,且沿与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向排列;及

多个第2导电构件,在所述第3方向延伸,沿所述第2方向排列,且与所述多个第1导电构件连接;

在位于所述多个第1导电构件之间且位于所述多个第2导电构件之间的部分,设置有绝缘构件。

9.根据权利要求1所述的半导体装置,

具备多个接点,在所述第1方向延伸,且与所述多个第1配线层中包含的多个导电构件连接,且

在所述焊垫区域的所述第1假想圆的内侧区域,未设置所述接点,

在所述焊垫区域的所述第2假想圆的外侧区域,设置有所述接点。

10.根据权利要求1所述的半导体装置,

具备存储器层,所述存储器层设置在所述衬底与所述多个第1配线层之间,

所述存储器层具备存储单元阵列及第1绝缘构件,

所述存储单元阵列具备:

多根第1配线,在所述第1方向积层;

半导体构件,在所述第1方向延伸,且与所述多根第1配线相对向;及

电荷蓄积膜,设置在所述多根第1配线与所述半导体构件之间;

所述多个第1配线层具备第2绝缘构件,所述第2绝缘构件设置在所述焊垫区域的所述第1假想圆的内侧区域,

所述第2绝缘构件连接于所述第1绝缘构件。

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