[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010776831.3 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN112750839A | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 赤穂雅之;野口充宏;辰巳雄一 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11529 | 分类号: | H01L27/11529;H01L27/11556;H01L27/11573;H01L27/11582 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,具备:
衬底;
多个第1配线层,在与所述衬底的表面交叉的第1方向积层,并包含多个导电构件;及
第2配线层,比所述多个第1配线层离所述衬底更远,并包含焊垫电极;且
所述多个第1配线层分别具备从所述第1方向观察时与所述焊垫电极重叠的焊垫区域,
在所述焊垫区域的以第1点为中点的第1假想圆的内侧区域,未设置所述导电构件,
在所述焊垫区域的以所述第1点为中点且半径为所述第1假想圆的半径以上的第2假想圆的外侧区域,设置有以特定图案配置的所述导电构件、或配置在该整个区域的所述导电构件,
如果将所述第1假想圆的半径设为R1,将所述第2假想圆的半径设为R2,那么R2/R1小于1/cos(π/4)。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述第1假想圆的直径小于所述焊垫电极的与所述第1方向交叉的第2方向的宽度。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述第1假想圆的直径大于所述焊垫电极的与所述第1方向交叉的第2方向的宽度。
4.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
在所述第1假想圆的内侧,包含对应于所述焊垫电极与焊接线的接触面的区域。
5.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
R2/R1小于1/cos(π/8)。
6.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
在所述焊垫区域的所述第2假想圆的整个外侧区域,设置有所述导电构件。
7.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
在所述焊垫区域的所述第2假想圆的外侧区域,以特定图案设置有所述导电构件,且
所述导电构件包含多个第1导电构件,所述多个第1导电构件在与所述第1方向交叉的第2方向延伸,且沿与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向排列,
在所述多个第1导电构件之间,设置有在所述第2方向延伸的绝缘构件。
8.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
在所述焊垫区域的所述第2假想圆的外侧区域,以特定图案设置有所述导电构件,且
所述导电构件包含:
多个第1导电构件,在与所述第1方向交叉的第2方向延伸,且沿与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向排列;及
多个第2导电构件,在所述第3方向延伸,沿所述第2方向排列,且与所述多个第1导电构件连接;
在位于所述多个第1导电构件之间且位于所述多个第2导电构件之间的部分,设置有绝缘构件。
9.根据权利要求1所述的半导体装置,
具备多个接点,在所述第1方向延伸,且与所述多个第1配线层中包含的多个导电构件连接,且
在所述焊垫区域的所述第1假想圆的内侧区域,未设置所述接点,
在所述焊垫区域的所述第2假想圆的外侧区域,设置有所述接点。
10.根据权利要求1所述的半导体装置,
具备存储器层,所述存储器层设置在所述衬底与所述多个第1配线层之间,
所述存储器层具备存储单元阵列及第1绝缘构件,
所述存储单元阵列具备:
多根第1配线,在所述第1方向积层;
半导体构件,在所述第1方向延伸,且与所述多根第1配线相对向;及
电荷蓄积膜,设置在所述多根第1配线与所述半导体构件之间;
所述多个第1配线层具备第2绝缘构件,所述第2绝缘构件设置在所述焊垫区域的所述第1假想圆的内侧区域,
所述第2绝缘构件连接于所述第1绝缘构件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的