[发明专利]一种深紫外光频梳产生装置

权利要求书

1.一种深紫外光频梳的产生装置，其特征在于，包括沿光路依次设置的基频光梳光源(1)、2倍频晶体(2)、色散器件(3)、4倍频棱镜耦合器件(4)、色散补偿器(5)和缩束器(6)；

所述基频光梳光源(1)，用于出射基频光梳；

所述2倍频晶体(2)，用于将所述基频光梳进行二倍频，以形成二倍频光；

所述色散器件(3)，用于将射入其内的二倍频光按照频率分量的不同形成不同角度的二倍频光，以使多种波长的二倍频光分别以不同的角度入射到所述4倍频棱镜耦合器件(4)中，以补偿由于宽谱引起的相位失配；

所述4倍频棱镜耦合器件(4)，用于将射入其内的不同频率分量的2倍频光进行四倍频，以形成不同频率分量的宽谱的四倍频光；

所述色散补偿器(5)，用于将频率分量不同的宽谱的四倍频光进行脉冲压缩，以使不同频率分量的四倍频光平行射出至所述缩束器(6)；

所述缩束器(6)，用于将所述不同频率分量的四倍频光缩束成深紫外光频梳后射出。

2.如权利要求1所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述色散器件(3)，用于将射入其内的二倍频光按照频率分量的不同形成不同的偏折角度，且将射入其内的二倍频光，以处于二倍频光的中心波长对应的相位匹配角在所述4倍频棱镜耦合器件(4)中传播。

3.如权利要求1或2所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述色散器件(3)为一块棱镜、多块棱镜级联或光栅中的一种。

4.如权利要求1或2所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述色散补偿器(5)为光栅、棱镜或啁啾镜的一种。

5.如权利要求1或2所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述2倍频晶体为BBO晶体、LBO晶体、CBO晶体或CLBO晶体中的一种。

6.如权利要求1或2所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述基频光梳光源是中心波长为800nm的飞秒钛宝石激光。

7.如权利要求1或2所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述4倍频棱镜耦合器件(4)包括：依次沿光路设置的入射棱镜、四倍频晶体和出射棱镜。

8.如权利要求7所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述入射棱镜和出射棱镜的均由SiO₂晶体、Al₂O₃晶体、SiC晶体、LiF晶体、MgF₂晶体、CdF₂晶体、CaF₂晶体或BaF₂晶体中的一种制成；

所述四倍频晶体为KBBF、RBBF、NBBF、NSBBF、ABBF、ABF或CBF晶体中的一种。

9.如权利要求1所述的深紫外光频梳产生装置，其特征在于，所述4倍频棱镜耦合器件置于真空腔内。

10.一种深紫外光频梳的产生装置，其特征在于，包括沿光路依次设置的基频光梳光源(1)、色散器件(3)、2倍频晶体(2)、4倍频棱镜耦合器件(4)、色散补偿器(5)和缩束器(6)；

所述基频光梳光源(1)，用于出射基频光梳；

所述色散器件(3)，用于将射入其内的基频光梳按照频率分量的不同形成多种波长的基频光，以使多种波长的基频光分别以不同的角度入射到所述2倍频晶体(2)中；

所述2倍频晶体(2)，用于将每种波长的所述基频光进行二倍频以形成的二倍频光；

所述4倍频棱镜耦合器件(4)，用于将射入其内的不同频率分量的二倍频光进行四倍频以形成不同频率分量的宽谱的四倍频光；

所述色散补偿器(5)，用于将不同频率分量的宽谱的四倍频光进行深紫外激光脉冲压缩，以使不同频率分量的四倍频光平行射出至所述缩束器(6)；

所述缩束器(6)，用于将所述不同频率分量的四倍频光整合成深紫外光频梳后射出。