[发明专利]一种双面P型电池片的背面结构及其制备方法在审
申请号: | 202010777732.7 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN111785789A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 单伶宝 | 申请(专利权)人: | 晶电科技(苏州)有限公司;单伶宝 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 丰叶 |
地址: | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 电池 背面 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种双面P型电池片的背面结构,其特征在于:包括硅衬底层,在所述硅衬底层上设置有钝化层,在所述钝化层上设置有铝层,且所述铝层能穿过钝化层与硅衬底层接触,且所述铝层在高温下生成铝硅化合物,并在所述铝硅化合物上设置金属导线层。
2.根据权利要求1所述的一种双面P型电池片的背面结构,其特征在于:所述钝化层上设置有连续性通孔,且所述连续性通孔呈网格状。
3.根据权利要求2所述的一种双面P型电池片的背面结构,其特征在于:所述连续性通孔的面积占钝化层表面积的2-98%。
4.根据权利要求1所述的一种双面P型电池片的背面结构,其特征在于:所述钝化层包括至少一层氧化铝膜层及至少一层氮化硅膜层。
5.根据权利要求1所述的一种双面P型电池片的背面结构,其特征在于:所述金属导线层设置三层,依次为镍层、铜层、锡层或银层。
6.一种双面P型电池片的背面结构的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1,设置钝化层:在硅衬底层上依次设置至少氧化铝膜层和至少一层氮化硅膜层,且两种膜层组成钝化层;
S2,设置连续性通孔:在钝化层上方使用激光作用于钝化层,且激光能将钝化层烧穿,并露出硅衬底层,激光在钝化层上进行连续性工作,且烧穿的图案连续性通孔;
S3,设置铝层:在连续性通孔上设置铝层,且铝层与硅衬底层接触;
S4,铝硅化合物的生成:上一步骤中的成品,在500-800摄氏度的环境下烧30-60分钟,即得到铝硅化合物;
S5,设置金属导电层:在铝硅化合物上设置金属导线层,金属导线层设置三层,依次为镍层、铜层、锡层或银层。
7.根据权利要求6所述的一种双面P型电池片的背面结构的制备方法,其特征在于:S3中铝层的设置采用印刷或金属溅镀或金属蒸镀的方式。
8.根据权利要求6所述的一种双面P型电池片的背面结构的制备方法,其特征在于:S3中的铝层的线宽能完全覆盖钝化层上的连续性通孔,且铝层高于钝化层,且不高于3um。
9.根据权利要求8所述的一种双面P型电池片的背面结构的制备方法,其特征在于:在S4-S5中,还设置有铝层去除步骤,使铝层与钝化层处于同一高度。
10.根据权利要求6所述的一种双面P型电池片的背面结构的制备方法,其特征在于:S5中采用电镀进行金属导线层的设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的