[发明专利]一种超导回旋加速器真空室石英灯辐射烘烤方法

权利要求书

1.一种超导回旋加速器真空室石英灯辐射烘烤方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：在超导加速器真空室检漏完成后，依次关闭真空插板阀(31)以及真空泵抽气系统；

步骤二：将石英灯辐射烘烤组件中的升降机构(42)顺时针旋至最低处，此时石英灯加热器(41)辐射端完全伸入加速器真空室内，打开石英灯加热器(41)的电源开关开始加热烘烤，观察超导回旋加速器真空室(1)壁面的温度传感器反馈值，当壁面温度达到100℃-110℃，停止加热，低于该值则重新打开加热，控温过程持续3分钟，控温完成后关停加热；

步骤三：关停加热器后，壁面温度恢复至35℃以下时，打开高纯氮辅助充气组件的高纯氮气源(51)，高纯氮出气进入氮气配气阀岛(52)，通过打开氮气配气阀岛(52)对应的氮气排放口，以及终端气动阀门(53)，向加速器腔体内充入高纯氮气至105Pa绝压，关闭充气阀门及阀岛氮气排放口，稳定10分钟；

步骤四：再次打开真空泵抽气系统以及真空插板阀(31)，对超导回旋加速器真空室(1)进行抽空，观察真空度测量单元(21)数值，当数值小于10Pa时，完成烘烤及置换过程；

所述超导回旋加速器真空室(1)上设置有法兰接口，功能集成组件(2)通过法兰接口与超导回旋加速器真空室(1)内部连接；

所述功能集成组件(2)上集成安装有真空度测量单元(21)和残余气体分析单元(22)；

所述真空泵抽气系统与功能集成组件(2)密封连接，且真空泵抽气系统与加速器真空腔直接连通；

所述石英灯辐射烘烤组件与功能集成组件(2)密封连接，石英灯辐射烘烤组件包括石英灯加热器(41)和升降机构(42)，升降机构(42)设置在功能集成组件(2)的内部，升降机构(42)的底端固定连接有石英灯加热器(41)；

所述高纯氮辅助充气组件与功能集成组件(2)密封连接，高纯氮辅助充气组件包括高纯氮气源(51)、氮气配气阀岛(52)和终端气动阀门(53)，高纯氮气源(51)与功能集成组件(2)之间通过配气管道连接，高纯氮气源(51)一侧的配气管道上设置有氮气配气阀岛(52)，氮气配气阀岛(52)与功能集成组件(2)之间的配气管道上设置有终端气动阀门(53)。

2.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室石英灯辐射烘烤方法，其特征在于，所述功能集成组件(2)与超导回旋加速器真空室(1)内部连通。

3.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室石英灯辐射烘烤方法，其特征在于，所述高纯氮气源(51)为高氮钢瓶，通过氮气配气阀岛(52)、终端气动阀门(53)以及配气管道向加速器腔内输送气体，实现烘烤后的腔体冲刷。

4.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室石英灯辐射烘烤方法，其特征在于，所述真空泵抽气系统由真空插板阀(31)、分子泵(32)、机械泵组(33)及阀门管道组成，阀门管道的一端与功能集成组件(2)连接，且阀门管道上依次设置有真空插板阀(31)、分子泵(32)和机械泵组(33)。

5.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室石英灯辐射烘烤方法，其特征在于，所述石英灯加热器(41)中的石英灯为碳电阻加热丝，石英灯的外侧设置有玻璃外罩，石英灯的端部设置有非金属导向结构。

6.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室石英灯辐射烘烤方法，其特征在于，所述高纯氮辅助充气组件的排气压力为3-5bar。