[发明专利]新型机械导轨式二维直线运动平台

说明书

本发明提供了一种新型机械导轨式二维直线运动平台，包括X轴和Y轴运动模组；Y轴运动模组设置在X轴运动模组上，在X轴运动模组的驱动下沿X轴方向运动；Y轴运动模组上设置有运动平台，运动平台在Y轴运动模组的驱动下沿Y轴方向运动；X轴和Y轴运动模组均包括：导轨组件，基座组件，驱动组件和检测组件；导轨组件包括滑块、导轨和锥形螺栓，导轨包括：面对滑块的第一表面；均与第一表面相邻的第二和第三表面，第二和第三表面远离基座的位置均具有凸起部，用于安装滑块中的滚动部件；以及与第一表面相对并面对基座的第四表面；导轨上开设有贯穿第一和第四表面的沉头孔，沉头孔的对应螺栓沉头的部分为锥形；导轨通过锥形螺栓固定到基座上。

技术领域

本发明属于高速运动平台技术领域，尤其涉及一种新型机械导轨式二维直线运动平台。

背景技术

运动平台是机械装备的核心部件。机械导轨式运动平台由于高加速性能广泛应用在电子制造、激光加工等装备中。然而，由于受导轨摩擦及刚度不均匀的影响，运动平台精度受限。

现有的高速运动平台的机械导轨，普遍采用均布螺钉孔实现导轨与运动平台基座的连接。然而，螺钉孔降低了导轨的刚度，均布螺钉孔导致刚度的周期变化，在运动过程中，形成对运动平台的周期振动激励，造成运动过程的速度波动。从而降低了平台的精度。

因此，本申请提供了一种能有效降低速率波动的机械导轨式二维直线运动平台。

发明内容

针对现有技术中的以上缺陷，本发明提供了一种新型机械导轨式二维直线运动平台，其特征在于，包括X轴运动模组和Y轴运动模组；所述Y轴运动模组设置在所述X轴运动模组上，在所述X轴运动模组的驱动下沿X轴方向运动；所述Y轴运动模组上设置有运动平台，所述运动平台在所述Y轴运动模组的驱动下沿Y轴方向运动；

所述X轴和Y轴运动模组均包括：导轨组件，基座组件，驱动组件和检测组件；

所述导轨组件安装在所述基座组件上，所述驱动组件用于提供驱动力，所述检测组件用于检测位移和速度；

所述导轨组件包括滑块、导轨和锥形螺栓，所述导轨固定在基座上，所述滑块滑动设置在所述导轨上，所述导轨包括：

第一表面，所述第一表面面对所述滑块；

第二和第三表面，所述第二和第三表面均与所述第一表面相邻，所述第二和第三表面远离所述基座的位置均具有凸起部，所述凸起部用于安装所述滑块中的滚动部件；以及

第四表面，所述第四表面与所述第一表面相对并面对所述基座；

所述导轨上开设有贯穿所述第一表面和第四表面的沉头孔，所述沉头孔的对应螺栓沉头的部分为锥形；所述导轨通过所述锥形螺栓固定到所述基座上。

可选地，所述X轴运动模组还包括连接块，所述连接块连接至所述Y轴运动模组的所述基座组件。

可选地，所述驱动组件包括电机动子和电机定子；所述X轴运动模组的所述电机动子连接至所述连接块；所述Y轴运动模组的所述电机动子连接至所述运动平台。

可选地，所述检测元件包括固定板，检测头和刻度元件，所述检测头通过所述固定板固定在所述运动平台的底部，所述刻度元件固定在所述基座上，所述检测头检测所述运动平台和所述连接块相对于各自基座的位移和速度。

可选地，所述导轨的数量为2个，分别固定在所述基座的两侧上。

可选地，所述基座组件包括基座、挡板和缓冲器，所述挡板分别设置在所述基座的两端，所述缓冲器设置在所述挡板上，用于对运动到所述边缘的刚性平台起到缓冲作用。

可选地，所述凸起部具有安装曲面，所述安装曲面与所述滚动部件的表面相配，以形成面接触。

可选地，所述第二和第三表面还开设有安装槽，用于便于所述滑块的安装。