[发明专利]碱性蚀刻液及其原位电解提铜再生利用装置和方法

权利要求书

1.碱性蚀刻液，其特征在于，包括按重量份计的以下组分：

100-150份碳酸氢铵，10-20份硝酸铵，10-20份磷酸铵，10-20份草酸铵，50-100份氯化铵，100-120份氨，180-200份铜离子，400-500份水，和1-10份烯丙基硫脲。

2.碱性蚀刻液在线原位电解提铜循环利用装置，其特征在于，包括：

蚀刻机，其采用碱性蚀刻液对覆铜板进行蚀刻形成电路板，所述碱性蚀刻液包括按重量份计的以下组分：100-150份碳酸氢铵，10-20份硝酸铵，10-20份磷酸铵，10-20份草酸铵，50-100份氯化铵，100-120份氨，180-200份铜离子，400-500份水，和1-10份烯丙基硫脲，所述蚀刻机具有一碱性蚀刻液入口和一存放蚀刻后的碱性蚀刻废液的废液槽；

电解槽，其具有一碱性蚀刻废液入口和一碱性蚀刻电解液出口，所述碱性蚀刻废液入口与所述废液槽之间设置有一循环泵，所述碱性蚀刻电解液出口与所述碱性蚀刻液入口连通；铜离子浓度传感器，其设置在所述碱性蚀刻废液槽内并检测当前碱性蚀刻废液的铜离子浓度值；

电解整流机，其插入所述电解槽内对所述碱性蚀刻废液进行电解得到铜板和碱性蚀刻电解液，所述电解整流机并与所述铜离子浓度传感器电连接，所述电解整流机根据当前碱性蚀刻废液的铜离子浓度值进行电解电流调整使得提铜电解速度和蚀刻覆铜板的速度相同；

pH传感器，其检测当前碱性蚀刻溶液的pH值；

氨气补给阀门，其与所述pH传感器电连接，在所述pH值低于设定值时开启以在碱性蚀刻液中通入氨气；

安培小时传感器，其设置在所述电解整流机上；

烯丙基硫脲补给计量泵，其与所述碱性蚀刻废液槽连通，且所述烯丙基硫脲补给计量泵与所述安培小时传感器电连接并定时开启。

3.碱性蚀刻液在线原位电解提铜循环利用方法，其特征在于，包括以下步骤：

采用碱性蚀刻液对覆铜板进行蚀刻形成电路板同时得到碱性蚀刻废液，所述碱性蚀刻液包括按重量份计的以下组分：100-150份碳酸氢铵，10-20份硝酸铵，10-20份磷酸铵，10-20份草酸铵，50-100份氯化铵，100-120份氨，180-200份铜离子，400-500份水，和1-10份烯丙基硫脲；

碱性蚀刻废液经由循环泵到达电解槽内进行电解得到碱性蚀刻电解液和铜板，碱性蚀刻电解液回到蚀刻机内与碱性蚀刻液混合后对覆铜板进行蚀刻，完成循环；

检测当前碱性蚀刻废液的铜离子浓度值，电解整流机根据其进行电解电流调整使得提铜电解速度和蚀刻覆铜板的速度相同；

检测当前碱性蚀刻液的pH值，并在其低于设定值时开启氨气补给阀门；

定时开启烯丙基硫脲补给计量泵为碱性蚀刻废液中补充烯丙基硫脲，补充量为0.1-1g/100A.h。