[发明专利]一种等离子体固样分析发射光谱仪

权利要求书

1.一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：包括气路系统、激发源装置、固体样品直接引入装置（11）、收光装置及上位机，所述气路系统连接激发源装置，收光装置与上位机连接；所述固体样品直接引入装置（11）用于放置固体样品（10），且激发源装置能够释放等离子体射流（18）至固体样品（10）上，等离子体射流（18）与固体样品（10）表面作用时能够形成发射光（17）并被收光装置所接收。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：所述激发源装置包括小型化微波耦合腔（6）、同轴接头（8）、微波功率源（7）、同轴线缆（9）和放电管（5），所述微波功率源（7）通过同轴接头（8）与同轴电缆（9）的一端相连接，同轴电缆（9）的另一端通过同轴接头（8）与小型化微波耦合腔（6）相连接，放电管（5）同轴安装于小型化微波耦合腔（6）中心。

3.根据权利要求2所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：所述放电管（5）采用石英或陶瓷或其它耐高温无机非金属材料制成的中空管，且中空管的外径为4 ~ 8mm、内径为0.1 ~ 3 mm。

4.根据权利要求2所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：所述放电管（5）的轴线与固体样品（10）表面的最小夹角为10~90度。

5.根据权利要求2所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：所述微波功率源（7）的微波输出功率为0~300W。

6.根据权利要求1~5任一项所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：所述收光装置包括聚焦透镜（12）、光纤（13）和光谱检测器（14），聚焦透镜（12）通过光纤（13）与光谱检测器（14）相连接，光谱检测器（14）与上位机（15）相连接。

7.根据权利要求1~5任一项所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：所述气路系统包括流量计（3）、高压阀（2）、钢瓶（1）、管路（4），所述钢瓶（1）通过管路（4）连接激发源装置，在管路（4）上设置有高压阀（2）和流量计（3），且高压阀（2）近钢瓶（1）侧设置，流量计（3）近激发源装置侧设置。

8.根据权利要求7所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：钢瓶（1）内释放的气体经过所述流量计（3）后流速为0~2000 mL/min。

9.根据权利要求7所述的一种等离子体固样分析发射光谱仪，其特征在于：所述钢瓶（1）内的气体为氩气、氦气、空气或氮气。