[发明专利]全光谱反射膜

说明书

本发明涉及一种全光谱反射膜，包括基膜和依次层叠设置于所述基膜上的第一反射层、第二反射层和第三反射层，所述第一反射层的厚度小于等于15nm，所述第一反射层的材料为银或银合金，所述第二反射层的材料为铝，所述第三反射层的材料包括钛、钛合金中的至少一种。本发明的全光谱反射膜中，通过三层反射层的协调作用，使得全光谱反射膜在紫外波段的反射率提升至85%以上，在可见和近红外波段的反射率均提升至90%以上，实现了在紫外、可见和近红外波段均具有高反射率的效果。同时，由于紫外光被大幅反射，可以减少紫外光对全光谱反射膜的损伤，延长全光谱反射膜的使用寿命。

技术领域

本发明涉及薄膜技术领域，特别是涉及全光谱反射膜。

背景技术

基于铝层的反射膜（铝膜）和基于银层的反射膜（银膜）是最常用的两种基于金属反射层的反射膜。但是，铝膜在860nm处有一个明显的吸收峰，降低了其在可见和近红外波段的反射效率。而银膜在300nm-400nm的紫外波段由于表面等离子激元的作用使反射率急剧降低，而且，当银层的厚度在170nm以下时，银层会出现以波长320nm为峰值的“透过窗”，即，从光源发射出的紫外光会透过银层，到达下层或基体表面，并且，随着银层厚度的减小，“透过窗”的波长范围和透射率都会随之增大。

为克服上述技术缺陷，传统技术为将银和铝进行复合，得到同时包括银层和铝层的反射膜（银/铝反射膜），以弥补各自单独存在的技术缺陷和效果缺陷，但是，其只能实现可见和近红外波段的高反射率，无法实现紫外波段的高反射率，而且，随着时间延长，银/铝反射膜会逐渐被紫外光侵蚀而损伤。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种反射率高、使用寿命久的全光谱反射膜。

一种全光谱反射膜，包括基膜和依次层叠设置于所述基膜上的第一反射层、第二反射层和第三反射层，所述第一反射层的厚度小于等于15nm，所述第一反射层的材料为银或银合金，所述第二反射层的材料为铝，所述第三反射层的材料包括钛、钛合金中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述第二反射层的厚度大于所述第一反射层的厚度，且所述第一反射层与所述第二反射层的厚度比为1:2-1:8；

及/或，所述第三反射层的厚度大于所述第一反射层的厚度，且所述第一反射层与所述第三反射层的厚度比为1:1.6-1:10。

在其中一个实施例中，所述第一反射层的厚度为5nm-15nm；

及/或，所述第二反射层的厚度为30nm-40nm；

及/或，所述第三反射层的厚度为25nm-50nm。

在其中一个实施例中，所述银合金包括银/金合金、银/钯/铜合金、银/钕/金合金、银/铟/锡合金、银/钕/铜合金、银/铋/金合金、银/金/锡合金、银/锡合金、银/钛/锗合金、银/锌/镍合金中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述第一反射层和所述第二反射层之间还设置有第一阻隔层，所述第一阻隔层的厚度为4nm-20nm。

在其中一个实施例中，所述第二反射层和所述第三反射层之间还设置有第二阻隔层，所述第二阻隔层的厚度为4nm-20nm。

在其中一个实施例中，所述第一阻隔层的材料包括金属氟化物、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的至少一种；

及/或，所述第二阻隔层的材料包括金属氟化物、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述基膜和所述第一反射层之间还设置有介质层，所述介质层的厚度为0.1nm-2.5nm。

在其中一个实施例中，所述介质层的材料包括金属、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的至少一种。