[发明专利]一种铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法在审

专利信息
申请号: 202010782897.3 申请日: 2020-08-06
公开(公告)号: CN111900246A 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 王轲;李陈博文;李敬锋;俞胜平;高洪伟;张丹阳;龚文;吴超峰;李庚 申请(专利权)人: 清华大学;歌尔股份有限公司;浙江清华长三角研究院
主分类号: H01L41/257 分类号: H01L41/257;H01L41/187;C04B35/495;C04B35/622
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 廖银洪
地址: 100000*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 铌酸锂钠基无铅 压电 陶瓷 极化 方法
【权利要求书】:

1.一种铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法,其特征在于,主要包括第一次极化和第二次极化,具体如以下步骤:

S1:极化前准备,将铌酸锂钠基无铅压电陶瓷放入硅油中,升温加热;

S2:第一次极化,在设定的极化电场强度下极化至设定的时间,结束后保持电场强度不变,将硅油自然降温至25℃;

S3:将铌酸锂钠基无铅压电陶瓷从硅油中取出,直接静置在空气中;

S4:第二次极化,将静置后的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷再次放入硅油中,升温加热;在设定的极化电场强度下极化至设定的时间,随后自然降温至25℃;

S5:从硅油中取出第二次极化后的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷,去除其表面硅油后放置至设定时间,使用准静态压电系数测试仪测量其压电性能,得到25℃下压电常数。

2.根据权利要求1所述的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法,其特征在于,步骤S1中,将硅油以10℃/min的速度升温至80~120℃。

3.根据权利要求1所述的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法,其特征在于,步骤S2中,将极化电场强度设置为3~5kV/mm,保持极化30~60min。

4.根据权利要求1所述的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法,其特征在于,步骤S3中,所述铌酸锂钠基无铅压电陶瓷从硅油中取出后,在空气中放置24~48h。

5.根据权利要求1所述的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法,其特征在于,步骤S4中,将硅油以10℃/min的速度升温至80~120℃,将极化电场强度设置为4~6kV/mm,保持极化30~60min。

6.根据权利要求1所述的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法,其特征在于,步骤S5中,去除所述铌酸锂钠基无铅压电陶瓷表面的硅油,放置24h后再测量其压电性能。

7.根据权利要求1所述的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法,其特征在于,第一次极化与第二次极化时,所述铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方向保持一致。

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