[发明专利]一种可把靶管内部空气完全排净的端头

说明书

一种可把靶管内部空气完全排净的端头，包括靶材、靶材卡箍和端头本体；端头本体上设有靶管，且端头本体内设有磁钢芯；磁钢芯内设有进水通道，进水通道与靶管连通；端头本体的上部设有排水通道，排水通道与靶管连通；靶材与靶管通过靶材卡箍连接；靶管的内部顶端与排水通道处于同一水平高度，冷却水从进水通道进入靶管，并在靶管四周回水，冷却水最终从排水通道处流出，同时排出靶管内部的空气。本发明结构更加严谨，能够把靶管内部空气完全排净，同时该端头工艺可靠性更高，更加契合当前镀膜设备，使当前设备的功率得到显著的提高。

技术领域

本发明涉及镀膜设备领域，尤其涉及一种可把靶管内部空气完全排净的端头。

背景技术

由于水平放置的阴极靶材，配置传统设计的端头，由于靶管水平放置，冷却水在靶管内流动的过程中，传统的镀膜设备的端头基于结构的原因，靶管内部不能注满水，管内上部容易产生高压气体残留；由于不能把靶管上部空气完全排出，导致在溅射生产过程中，始终有一部分空气残留在靶管上部，造成靶材与靶管接触面的对应部位不能被很好的冷却，最终导致靶材容易开裂；另外，现有配置的传统端头，由于端头工艺不稳定，影响了镀膜设备的整体功率。

鉴于此，需要将靶管内部空气完全排空，保证靶材的良好充分冷却。故而寻求一种能把靶管内部空气完全排空的端头，成为当今镀膜设备领域需要解决的技术问题。

发明内容

(一)发明目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本发明提出一种可把靶管内部空气完全排净的端头，其结构更加严谨，能够把靶管内部空气完全排净，同时该端头工艺可靠性更高，更加契合当前镀膜设备，使当前设备的功率得到显著的提高。

(二)技术方案

本发明提出了一种可把靶管内部空气完全排净的端头，包括靶材、靶材卡箍和端头本体；

端头本体上设有靶管，且端头本体内设有磁钢芯；磁钢芯内设有进水通道，进水通道与靶管连通；端头本体的上部设有排水通道，排水通道与靶管连通；靶材与靶管通过靶材卡箍连接。

优选的，靶管的内部顶端与排水通道处于同一水平高度。

本发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

采用新发明的端头，通过改变端头内部芯轴的位置以及端头出水口的位置，不仅解决了靶管内部排水不彻底的问题，还提高了当前设备工艺的可靠性，从而提高了当前设备的功率。

附图说明

图1为本发明提出的一种可把靶管内部空气完全排净的端头的结构示意图。

附图标记：1、靶管；2、靶材；3、靶材卡箍；4、排水通道；5、端头本体；6、磁钢芯；7、进水通道。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。

如图1所示，本发明提出了一种可把靶管内部空气完全排净的端头，包括靶材2、靶材卡箍3和端头本体5；

端头本体5上设有靶管1，且端头本体5内设有磁钢芯6；磁钢芯6内设有进水通道7，进水通道7与靶管1连通；端头本体5的上部设有排水通道4，排水通道4与靶管1连通；靶材2与靶管1通过靶材卡箍3连接。

在一个可选的实施例中，靶管1的内部顶端与排水通道4处于同一水平高度。