[发明专利]真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统及抽真空方法

权利要求书

1.一种真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：其包括抽真空单元、氮气置换单元和控制单元；所述的抽真空单元包括分别通过抽真空管路与真空多层绝热低温容器夹层连通的短程抽气机组和长程抽气机组；所述的短程抽气机组包括与抽真空管路连通的油扩散真空泵以及与油扩散真空泵连通的双级旋片真空泵；所述的长程抽气机组包括与抽真空管路连通的罗茨真空泵以及与罗茨真空泵连通的单级旋片真空泵；所述的氮气置换单元包括氮气源、连接在氮气源和抽真空管路之间的气体加热器以及与真空多层绝热低温容器夹层连通的自动出气控制阀门；所述短程抽气机组、长程抽气机组及氮气置换单元均与控制单元通信连接。

2.根据权利要求1所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的短程抽气机组和长程抽气机组共用一个抽真空管路，抽真空管路上设有第一气动高真空挡板阀和第一真空规管，抽真空管路用于连接短程抽气机组和长程抽气机组的一端还设有捕集阱，捕集阱的上方通过螺栓固定有钟罩，钟罩上设有两个第二真空规管，短程抽气机组与捕集阱连接。

3.根据权利要求1所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的油扩散真空泵和双级旋片真空泵之间连接有第一真空阀门，第一真空阀门和油扩散真空泵间配有用于连接真空规管或检漏仪的第一预留接口。

4.根据权利要求2所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的钟罩与罗茨真空泵之间连接有第二气动高真空挡板阀，罗茨真空泵与单级旋片真空泵之间连接有第二真空阀门，第二真空阀门和罗茨真空泵间设有用于连接真空规管或检漏仪的第二预留接口。

5.根据权利要求2所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的捕集阱通过无氧铜管连接有用于向其提供低温制冷剂的制冷机。

6.根据权利要求2所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的第一气动高真空挡板阀配有独立气源。

7.根据权利要求1所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的罗茨真空泵和油扩散真空泵均连接有用于向其提供冷却水的同一个冷水机。

8.根据权利要求1所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的自动出气控制阀门与真空多层绝热低温容器夹层之间连接有夹层出气温度传感器；所述的氮气源与气体加热器之间连接有氮气管路压力传感器，气体加热器与抽真空管路之间连接有进气温度传感器、进气控制阀门和压力传感器。

9.根据权利要求1所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：所述的抽真空管路连接有用于驱动气动阀门并使其与真空多层绝热低温容器夹层连接的空压机。

10.一种基于权利要求1所述的真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统的抽真空方法，其特征在于：其包括以下步骤：

1)设定夹层第一真空度阈值，长程抽气机组工作，短程抽气机组休息，长程抽气机组将真空多层绝热低温容器夹层的真空度抽至低于夹层第一真空度阈值后，关闭长程抽气机组工作；

2)氮气置换单元向真空多层绝热低温容器夹层提供热氮气，当真空多层绝热低温容器夹层的压力增至1个大气压，自动出气控制阀门打开，且氮气置换单元继续向真空多层绝热低温容器夹层提供热氮气，使热氮气裹挟夹层材料受热释放出的水分和不凝性气体分子并流出夹层，该过程维持1～12h；

3)重复步骤1)和2)，完成氮气置换工艺；

4)设定夹层第二真空度阈值和夹层第三真空度阈值，采用长程抽气机组将真空多层绝热低温容器夹层内的压强抽至低于夹层第二真空度阈值，关闭长程抽气机组，切换至短程真空机组继续对夹层抽真空，短程真空机组抽真空时，先开启双级旋片真空泵和制冷机，抽至真空度≤5Pa，再开启油扩散泵开始高真空抽气，直至真空多层绝热低温容器夹层真空度低于夹层第三真空度阈值。