[发明专利]一种氮化铝陶瓷基板及其制备方法

权利要求书

1.一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S10，向100份氮化铝粉体中加入有机羧酸和无水乙醇，搅拌分散均匀，并静置3小时，再加入非离子型表面活性剂，56～64℃水浴加热搅拌5～8小时，经过滤、清洗、烘干，得到预处理氮化铝粉体；

步骤S20，将1.2份～3.4份氧化锆粉末和0.05份～0.2份氧化钇粉末混合，置于改性处理液中，边搅拌边加热至100℃，恒温30～50分钟，趁热过滤，并用甲苯清洗3～5次，干燥得到改性混合粉末；所述改性处理液的组成为：1,3,5-三甲苯100份、己二酸1.2份～2.4份、硬脂酸0.8份～1.5份；

步骤S30，将步骤S10得到的预处理氮化铝粉体、步骤S20得到的改性混合粉末、2份～4.5份炭黑、0.2份～2.2份氧化铝、0.4份～0.8份氯化镧、25份～55份乙醇放到球磨机中，高速球磨混合12～16小时，得到混合浆料；

步骤S40，向步骤S30得到的混合浆料中加入1.2份～2.5份无规聚丙烯、0.4份～1.2份聚甲基丙烯酸酯，混合搅拌均匀，得到流延浆料；

步骤S50，将步骤S40得到的流延浆料经流延成型工艺制成素坯，并切成陶瓷生坯，再经干燥、冲压得到坯体；

步骤S60，将步骤S50得到的坯体放到真空电阻炉内，使用多段程序加热烧结，得到氮化铝陶瓷基板；

步骤S10中，所述非离子型表面活性剂选自聚乙二醇、棕榈醇、环己醇、月桂酰二乙醇胺中的任一种；

步骤S10中，所述有机羧酸的加入量为氮化铝粉体重量的6～9％；

步骤S10中，所述非离子型表面活性剂的加入量为氮化铝粉体重量的2.2～3.4％；

步骤S50中，所述素坯的厚度在0.12～0.45mm之间；

步骤S50中，所述流延成型工艺的排胶温度480～550℃，排胶时间在70分钟～140分钟；

步骤S60中，所述多段程序加热烧结的具体过程为：先以1.2℃/min的升温速率升温至100℃，再以2.2～3.5℃/min的升温速率升温至500～650℃，保温30分钟，再以1.8～2.4℃/min的升温速率升温至1650～1820℃，保温2～5小时。