[发明专利]电触头及电连接装置

说明书

本发明提供一种电触头及电连接装置，其可以使流至电触头的电信号的导通特性变得良好，从而使被检查体的电气检查变得良好。本发明的电触头的特征在于，具备：安装部；基端部，其与安装部相连地延伸；多个臂部，它们从基端部沿长度方向延伸；连结部，其与各臂部的顶端部连结；台座部，其与连结部相连地设置；以及接触部，其处于台座部的下端；多个臂部分别以弹性方式支承与第1接触对象接触的接触部，在多个臂部中的离接触部最近的最靠近接触部的臂部的连结部侧或基端部侧设置有弯曲部。

技术领域

本发明涉及电触头以及电连接装置，例如可以运用于半导体晶圆上形成的半导体集成电路等的电气检查中使用的电触头以及电连接装置。

背景技术

在半导体晶圆上形成的各半导体集成电路(被检查体)的电气检查中，会使用将具有多个探针(以下也称为“电触头”)的探针卡等电连接装置安装在测试头上得到的检查装置(测试器)。

在探针卡上以各探针的顶端部从该探针卡的下表面突出的方式安装有多个探针，当将检查体按压至探针卡时，各探针的顶端部与被检查体的对应的电极端子电性接触。继而，在检查时，来自检查装置的电信号经由各探针供给至各被检查体，而且来自各被检查体的信号经由各探针导入至检查装置侧，由此来进行各被检查体的电气检查。

近年来，随着半导体集成电路的高密度化、高集成化等，半导体集成电路的电极端子的小径化、电极端子间的间隔的窄间距化在不断发展。对此，为了与已经小径化及窄间距化的电极端子可靠地电性接触而使用悬臂型探针。

例如，专利文献1揭示了一种接触件，其具备：安装部；2根臂部，它们从该安装部沿左右方向延伸；以及台座部，其在2根臂部的顶端侧连结2根臂体，在台座部的下端具有与电极端子电性接触的接触部。2根臂部的后端部支承在安装部上，在探针的接触部与被检查体的电极端子电性接触时，为了抑制接触部与电极端子的接触负载，2根臂部作为以弹性方式支承接触部的部分而发挥功能。此外，为了使接触部相对于被检查体的电极端子的定位变得可靠，2根臂部中的离接触部较近的臂部(专利文献1的图1中为下侧臂部34)形成为直线状。

这样的悬臂型探针中，安装部与接触部是在左右方向上分离配置的，进而，在探针的接触部与被检查体的电极端子电性接触时，像上文所述那样臂部以弹性方式发挥作用。因此，在接触部与电极端子电性接触时，探针的接触部的位置会以安装部为中心呈圆弧状移动，而且在施加了过驱动时，与电极端子相接触的探针的接触部会在电极端子的表面上刮擦。进而，为了减少电极端子的表面的缺损等，须恰当地调整接触部对电极端子的针压(接触时的压力)。

以往是通过对探针的臂体的粗细(上下方向的长度)、弯曲的形态等进行微调来调整上述那样的探针的接触部的移动量、刮擦量、针压等。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利特开2009-229410号公报

发明内容

【发明要解决的问题】

另外，为了使被检查体的电气检查变得良好而高精度地检查被检查体，要求使流过探针的电信号的导通特性变得良好。因此，例如考虑增粗探针的臂部的粗细(上下方向的长度)来降低电阻值，但是，当增粗探针的臂部时，臂部将难以弹性变形(例如挠曲)，有探针的接触部的移动量、刮擦量增大之虞。

此外，由于探针的小型化在不断发展，因此还存在探针的臂部的左右方向的长度变短而难以控制(调整)探针的接触部的移动量这一问题。

因此，寻求可以使流至电触头的电信号的导通特性变得良好，从而使被检查体的电气检查变得良好的电触头以及电连接装置。

【解决问题的技术手段】