[发明专利]具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法在审
申请号: | 202010787701.X | 申请日: | 2020-08-07 |
公开(公告)号: | CN112345597A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 豊田雅史;前岛邦彦;河口智博;石本龙也 | 申请(专利权)人: | 费加罗技研株式会社 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 高迪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具备 气体 传感器 检测 装置 方法 | ||
提供具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法。使用多个气体传感器,通过附带电路使其动作。附带电路进行如下处理:将动作时间计时,存储空气中的电阻值与环境气体中的电阻值的比的初始值;对空气中的电阻值进行学习,当金属氧化物半导体的电阻值变得比学习到的空气中的电阻值与比的初始值的商低时,检测到气体;当使最初的气体传感器动作了规定时间时,使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作,由最初的气体传感器继续进行检测,对下个气体传感器中的空气中的电阻值进行学习,如果学习期间结束,则由下个气体传感器进行检测。使气体检测装置的寿命提高,并且在气体传感器的切换时维持检测的可靠性。
技术领域
本发明涉及具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法。
背景技术
已知有具备多个金属氧化物半导体气体传感器的气体检测装置。例如,在专利文献1(JP S60-31049A)中,将4个气体传感器依次各使用1个。通过气体传感器的信号发出的警报次数表示气体传感器与气体接触的次数,如果该次数较多,则评价为气体传感器达到了寿命。所以,将警报次数计数,如果计数次数达到规定值,则切换为下个气体传感器。
在专利文献2(JP 6288613B)中,将多个气体传感器中的1个置于动作状态,将其余置于预热状态,检测来自冷冻空调设备的氟利昂气体的泄漏。如果动作状态的气体传感器检测到氟利昂气体,则使其他的气体传感器中的1个转移到动作状态,确认氟利昂气体的泄漏。
在专利文献3(EP 3153849A)中,通过依次使用多个气体传感器,增加对于由硅氧烷等造成的中毒的耐久性。即,如果将气体传感器使用规定时间,则推断气体传感器有可能中毒,将检测切换为下个气体传感器。另外,如果将多个气体传感器集成在1个MEMS芯片,则与传感器成本的增加相比,有寿命延长的效果较大的情况。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:JP S60-31049A
专利文献2:JP 6288613B
专利文献3:EP 3153849A
发明内容
发明要解决的课题
发明者研究了将氟利昂气体等的检测装置的寿命延长。在氟利昂气体等的检测中,如果将气体传感器使用若干年,则气体传感器的电阻值增加。但是,空气中和含有氟利昂气体等的环境气体中的气体传感器的电阻值的比大致被保持为一定值。因而,如果不是基于气体传感器的电阻值自身,而是基于空气中与含有氟利昂气体等的环境气体中的电阻值的比检测到气体,则能够延长寿命。另外,将基于空气中与气体中的电阻值的比的气体检测称作相对值检测。
设置多个气体传感器,例如在规定期间将最初的气体传感器使用之后,切换为下个气体传感器。如果使用例如两个气体传感器,则能够使气体检测装置的寿命变为约2倍。但是,在相对值检测中,关于新使用的气体传感器,需要学习空气中的电阻值。在到学习完成为止的期间中,新使用的气体传感器不能进行有可靠性的检测。
本发明的目的是:
·通过将多个气体传感器依次使用及进行相对值检测,提高气体检测装置的寿命;以及
·通过在气体传感器的切换时,适当地学习新使用的气体传感器中的空气中的电阻值,维持检测的可靠性。
用来解决课题的手段
本发明的气体检测装置具备多个气体传感器和使上述多个气体传感器动作的附带电路,所述气体传感器具备通过与气体的接触而电阻值变化的金属氧化物半导体和加热器。
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