[发明专利]形状测量装置、基准器及检测仪的校准方法

权利要求书

1.一种形状测量装置，其具有：

检测仪，其包括排成一列的至少三个位移计，并且通过与测量对象物对置配置从而检测从所述至少三个位移计到所述测量对象物为止的距离的位移；

基准器，其支承于所述测量对象物上从而提供所述检测仪的校准用的基准面；及

控制装置，进行所述检测仪的校准，

所述基准器具有在所述至少三个位移计的排列方向上的两处支承于所述测量对象物上的支承结构，以使所述基准器的挠曲的形状不受所述测量对象物上表面的凹凸的影响，

所述控制装置在使所述基准面对置于所述至少三个位移计的状态下进行所述检测仪的校准。

2.根据权利要求1所述的形状测量装置，其中，

所述基准器具有在一个方向上长的形状，

所述支承结构包括从与所述基准面相反的一侧的底面突出的三个支脚部，所述三个支脚部中的两个支脚部在所述基准器的长度方向上配置于相同的位置。

3.一种形状测量装置，其具有：

检测仪，其包括排成一列的至少三个位移计，并且通过与测量对象物对置配置从而检测从所述至少三个位移计的各个位移计到所述测量对象物为止的距离的位移；

基准器，其支承于所述测量对象物上从而提供用于校准所述检测仪的基准面；及

控制装置，进行所述检测仪的校准，

所述基准器具有如下结构：在将所述基准器支承于所述测量对象物上的状态下，所述基准器会因自重而产生挠曲，而产生了挠曲的状态下的所述基准面的形状并不受所述测量对象物上表面的凹凸的影响，

所述控制装置在使所述基准面对置于所述至少三个位移计的状态下进行所述检测仪的校准。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的形状测量装置，其中，

所述控制装置中存储有在将所述基准器放置在所述测量对象物上时在所述基准面上产生的挠曲的形状，并根据所存储的挠曲的形状来进行所述检测仪的校准。

5. 根据权利要求1至3中任一项所述的形状测量装置，其还具有：

输入输出装置，其向所述控制装置输入指令，并且所述控制装置的测量结果输出到所述输入输出装置；及

温度传感器，其测定反映所述检测仪的温度的部位的温度，

所述控制装置向所述输入输出装置输出刚进行的校准时由所述温度传感器测定的测定值及当前时刻由所述温度传感器测定的测定值。

6.根据权利要求5所述的形状测量装置，其中，

若刚进行的校准时由所述温度传感器测定的测定值与当前时刻由所述温度传感器测定的测定值之差超过了阈值，则所述控制装置使所述输入输出装置输出催促所述检测仪的校准的提醒信息。

7.根据权利要求5所述的形状测量装置，其中，

所述控制装置进行如下控制：使测量对象物及所述检测仪中的一个相对于另一个沿所述至少三个位移计的排列方向移动并且测量并存储测量对象物表面的直线度，

将测量对象物表面的直线度的多个测量结果以能够比较的方式输出到所述输入输出装置。

8. 一种基准器，其具有：

与排成一列的三个位移计对置的基准面；及

从与所述基准面相反一侧的底面突出的三个支脚部，

所述三个支脚部中的两个支脚部在所述基准面的长度方向上配置于相同的位置，以使所述基准器的挠曲的形状不受测量对象物上表面的凹凸的影响。

9.一种校准方法，其为通过使排成一列的至少三个位移计与测量对象物对置配置从而检测从所述至少三个位移计的各个位移计到所述测量对象物为止的距离的位移的检测仪的校准方法，其中，

将基准器以与所述至少三个位移计对置的姿势在所述至少三个位移计的排列方向上的两处支承于所述测量对象物上，以使所述基准器的挠曲的形状不受所述测量对象物上表面的凹凸的影响，

在使所述至少三个位移计对置于所述基准面的状态下进行所述检测仪的校准。