[发明专利]成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法及计算机可读取的存储介质

说明书

本发明提供成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法及计算机可读取的存储介质。本发明的成膜系统具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，包括：存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及判别部件，基于存储于所述存储部件的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和/或所述成膜装置的异常部位。

技术领域

本发明涉及成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法、计算机可读取的存储介质及存储于存储介质的计算机程序。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置备受关注。有机EL 显示装置是自发光显示器，响应速度、视场角、薄型化等特性优于液晶面板显示器，以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等迅速地代替现有的液晶面板显示器。另外，在汽车用显示器等中，其应用领域也正在扩大。

构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件；OLED) 具有在两个相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL元件的有机物层和电极金属层是通过在成膜装置的真空腔室内隔着形成有像素图案的掩模在基板上成膜成膜物质而制造的。为了按照掩模的像素图案在基板上高精度地成膜成膜物质，需要在对基板进行成膜前使掩模与基板之间的相对的位置精密地排列。

作为调整这样的基板与掩模之间的相对位置的对准方法，已知有以下的方式，即，在基板和掩模上分别形成位置调整(对准)用的标记，利用设置于成膜装置的照相机对这些对准标记进行拍摄，基于其拍摄图像，调整基板与掩模的相对位置，以使基板和掩模的各对准标记具有预先确定的规定的位置关系。

而且，在这样的对准中，通常在使基板与掩模相互隔离而相向的状态下，通过相对移动来调整基板与掩模之间的水平位置偏离。当位置偏离的调整完成时，使基板相对于掩模相对地下降(或者使掩模相对于基板相对上升)，在掩模上加载(载置)位置调整了的基板。接着，根据需要使用磁铁板等使基板与掩模进一步贴紧，由此隔着掩模对基板进行成膜。

在具有成膜装置以及向成膜装置搬送基板的搬送装置的成膜系统的性能产生问题时，使成膜系统停止并向大气开放之后，寻找异常部位会花费时间，使生产率降低。特别是在如成膜系统的成膜装置那样具有复杂的构造的装置中，各种要因可能会对性能降低造成影响，因此不容易确认在成膜装置的哪个部位存在问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够高效地判别成膜系统的异常部位的成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法、计算机可读取的存储介质及存储于存储介质的计算机程序。

用于解决课题的技术手段

本发明的第1方式的成膜系统，其具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，该成膜系统包括：存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及判别部件，基于存储在所述存储部件中的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和/或所述成膜装置的异常部位。

本发明的第2方式的成膜系统的异常部位判别方法，该成膜系统具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，该成膜系统的异常部位判别方法包括：将与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数存储在存储部件中的步骤；以及基于存储在所述存储部件中的所述至少一个动作参数的数据，判别所述搬送装置和/或所述成膜装置的异常部位的步骤。

本发明的第3方式的计算机可读取的存储介质，其是存储有用于使计算机执行成膜系统的异常部位判别方法的程序的计算机可读取的存储介质，其特征在于，所述异常部位判别方法是本发明的第2方式的方法。