[发明专利]一种基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统

权利要求书

1.一种基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：该低温系统包括目标减振冷屏（7）和依次套置在目标减振冷屏（7）外侧的二级冷屏（6）、一级冷屏（5）和真空腔（4）且四者同轴心设置，所述的目标减振冷屏（7）通过目标减振冷屏支撑杆（9）独立固定于目标减振冷屏独立支架（2）上，真空腔（4）独立悬吊于目标减振冷屏独立支架（2）构成的内腔中设置的真空腔独立支架（3）上，目标减振冷屏独立支架（2）和真空腔独立支架（3）皆固定设置在无振动地面（1）上且两者之间无直接接触；所述的二级冷屏（6）通过独立的支撑杆固定在同轴心设置的一级冷屏（5）上且一级冷屏（5）通过独立的支撑杆固定在同轴心设置的真空腔（4）的上盖上，上述的支撑杆和目标减振冷屏支撑杆（9）与二级冷屏（6）和一级冷屏（5）的连接处采用无氧铜辫（11）做低温冷沉进行软连接；GM制冷机（13）通过GM制冷机减振波纹管（16）与真空腔（4）相连。

2.根据权利要求1所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述的目标减振冷屏独立支架（2）上设有减振器（12），在减振器（12）上设有用于悬吊目标减振冷屏（7）的悬吊件；且在该悬吊件上设有能够调整目标减振冷屏（7）位置的微调机构，以确保目标减振冷屏（7）与二级冷屏（6）和一级冷屏（5）的同心度。

3.根据权利要求1所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述的真空腔独立支架（3）上设有减振器（12），真空腔（4）的上盖压在减振器（12）上，以使得真空腔（4）独立悬吊于真空腔独立支架（3）上。

4.根据权利要求1-3任一所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述的目标减振冷屏支撑杆（9）与真空腔（4）采用目标减振冷屏减振波纹管（8）连接。

5.根据权利要求1所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述的目标减振冷屏支撑杆（9）采用薄壁不锈钢管或G10杆。

6.根据权利要求1所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述的目标减振冷屏（7）和二级冷屏（6）之间设置有能够断开的机械热开关（10）。

7.根据权利要求1所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述GM制冷机（13）的一级冷头和二级冷头处分别采用无氧铜辫（11）做低温冷沉以软连接一级冷屏（5）和二级冷屏（6）；所述的一级冷屏（5）和二级冷屏（6）与抽空管路（14）的连接处分别采用无氧铜辫（11）做低温冷沉进行软连接。

8.根据权利要求7所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述的抽空管路（14）通过抽空管路减振波纹管（15）与真空腔（4）过渡连接；且所述的抽空管路（14）通过抽空管路过渡波纹管（19）连接蒸馏室（20）。

9.根据权利要求1或7所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：所述GM制冷机（13）的一级冷头和二级冷头分别采用无氧铜辫（11）做低温冷沉以软连接进气换热器（17）。

10.根据权利要求1所述的基于GM制冷机实现2K之下超低振动的低温系统，其特征在于：流阻（18）、蒸馏室（20）、目标减振冷屏（7）、连续换热器（21）、阶梯换热器（22）以及混合室（23）作为一个附件整体封装到一起并通过目标减振冷屏支撑杆（9）独立固定于目标减振冷屏独立支架（2）上。