[发明专利]四象限探测器镜头的光学质量检测系统

权利要求书

1.四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，由一端至另一端依次包括激光器、整形扩束准直镜头、被测四象限探测器镜头、毛玻璃、显微镜头、面阵图像传感器和显示器及图像处理软件，所述激光器发出的高斯光束经过整形扩束准直镜头后整形为所需口径平顶光束，入射到被测四象限探测器镜头上，在被测镜头的探测面放置一毛玻璃，用一显微镜头将毛玻璃散射的光斑信息成像到面阵图像传感器上，并将信号采集处理在显示器图像处理软件中显示；被测四象限探测器镜头、毛玻璃、显微镜头与面阵图像传感器共同固定在精密转台上，通过旋转精密转台角度探测被测镜头不同视场的光斑信息。

2.根据权利要求1所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，所述激光器出射可见或近红外波长的连续激光。

3.根据权利要求2所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，所述面阵图像传感器为CCD/CMOS相机或近红外相机。

4.根据权利要求1所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，所述整形扩束准直镜头将激光器发出的高斯光束整形扩束准直为所需光束口径的均匀强度平顶光束。

5.根据权利要求1所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，所述显微物镜将四象限探测器镜头探测面上毛玻璃散射的光斑信息成像在面阵图像传感器上，通过分析光斑质量判定四象限探测器镜头光学质量。

6.根据权利要求5所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，沿着光路传播方向，所述毛玻璃前表面的粗糙度大于0.05微米，后表面粗糙度小于0.012微米。

7.根据权利要求5所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，所述显微镜头的物高大于被测四象限探测器镜头探测面有效探测口径。

8.根据权利要求5所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，所述显微镜头的像高小于面阵图像传感器的光敏面尺寸。

9.根据权利要求1所述的四象限探测器镜头的光学质量检测系统，其特征在于，所述光斑信息包括光斑位置、形状尺寸及均匀度。