[发明专利]一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液在审
| 申请号： | 202010800917.5 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111777951A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王新海;马瑾;张永军 | 申请（专利权）人： | 陕西国防工业职业技术学院 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 710300 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 玻璃 化学 机械抛光 | ||
1.一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，其组成成分及质量百分含量如下：复合磨料10％-30％、前腐蚀剂0.1％-0.5％、表面活性剂0.05％-2％、分散剂1-5％、螯合剂0.02％-1％、pH调节剂0.5％-1％、超纯水余量。
2.根据权利要求1所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述复合磨料由二氧化硅、二氧化铈、二氧化锆、二氧化钛纳米粒子组成。
3.根据权利要求2所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述复合磨料其组成质量百分比如下：二氧化硅：二氧化铈：二氧化锆：二氧化钛为1:1:1:1。
4.根据权利要求1所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述其组成成分及质量百分含量如下：复合磨料20％-25％、前腐蚀剂0.2％-0.4％、表面活性剂0.9％-1％、分散剂2-3％、螯合剂0.4％-0.9％、pH调节剂0.6％-0.8％、超纯水余量。
5.根据权利要求1所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述前腐蚀剂为30％的硝酸和50％氢氟酸混合溶液，硝酸和氢氟酸混合质量百分比为1:1。
6.根据权利要求5所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述复合磨料的粒径为30-90nm。
7.根据权利要求1所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述表面活性剂为烷基醇酰胺。
8.根据权利要求1所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述分散剂为聚维酮、聚丙烯酸或聚丙烯酸胺中的至少一种。
9.根据权利要求1所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述螯合剂为8-羟基喹啉。
10.根据权利要求1所述的一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为25％的KOH溶液。
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