[发明专利]一种DLC涂层工艺

权利要求书

1.一种DLC涂层工艺，包括步骤一，准备原料；步骤二，装置放置；步骤三，金属沉积；步骤四，气体电离；步骤五，存储放置；其特征在于：

其中在上述步骤一中，准备原料包括以下步骤：

1)人工检测需要的DLC涂层材料，并根据需要的DLC涂层材料购买金属靶材料；

2)检测购买的金属靶材料，记录数据，并将金属靶材料进行清洗烘干，随后放置在阴凉地存储；

其中在上述步骤二中，装置放置包括以下步骤：

1)加工炉(1)内部放置矩形靶座(6)，并在矩形靶座(6)顶部安置电磁线圈(7)，电磁线圈(7)连接外界电源；

2)人工在加工炉(1)外侧连接第一进气道(9)与第二进气道(10)，第一进气道(9)围绕在矩形靶座(6)外侧，第二进气道(10)远离矩形靶座(6)，加工炉(1)底部设置有深冷恒温储存器(8)，深冷恒温储存器(8)通过管道与矩形靶座(6)连接；

3)炉盖(2)设置伸缩气杆(3)，伸缩气杆(3)底部设置永磁体(4)，并将永磁体(4)放置于矩形靶座(6)顶部，即可完成装置放置；

其中在上述步骤三中，金属沉积包括以下步骤：

1)人工将金属靶材料放置在矩形靶座(6)内部，并将其分开排列，保证金属靶材料具有一定间隔；

2)从第二进气道(10)通入氩气气体，开启辅助阳极(5)，使其通过电弧离子进行金属沉积；

其中在上述步骤四中，气体电离包括以下步骤：

1)人工从第一进气道(9)通入甲烷气体，开启电磁线圈(7)与辅助阳极(5)，通过用磁场和电磁场来共同控制磁控溅射靶；

2)调节电磁线圈(7)可以提供磁场，约束放气产生的气体离子，将大部分的气体离子其运动范围在预设的空间内；

3)控制伸缩气杆(3)，使永磁体(4)更具需求接近或远离矩形靶座(6)，气体放电即可开始电离；

4)人工控制深冷恒温储存器(8)，储存装置降温到了沸点以下，靠压力差将液态气体吸入控制深冷恒温储存器(8)中，添加完毕后将温度保持在合适的温度使气体液态保持，即可得到DLC涂层；

其中在上述步骤五中，人工将步骤四4)中DLC涂层收集，检测DLC涂层性质，并将其装箱存储在阴凉地。

2.根据权利要求1所述的一种DLC涂层工艺，其特征在于：所述步骤一2)中检测不合格的金属靶材料收集统一处理。

3.根据权利要求1所述的一种DLC涂层工艺，其特征在于：所述步骤二3)中伸缩气杆(3)顶部设置有电动气缸，且电动气缸与外界电源连接。

4.根据权利要求1所述的一种DLC涂层工艺，其特征在于：所述步骤三2)中通入氩气前将加工炉(1)空气排尽。

5.根据权利要求1所述的一种DLC涂层工艺，其特征在于：所述步骤四4)中温度可以自0-25℃间调控。

6.根据权利要求1所述的一种DLC涂层工艺，其特征在于：所述步骤五中装箱前需要进行紫外线照射消毒。