[发明专利]一种微机电系统的三轴加速度计

权利要求书

1.一种微机电系统的三轴加速度计，其特征在于，包括：

一第一质量块，所述第一质量块包括第一惯性区和第一Z轴电极区，还包括一第一转轴设置于所述第一惯性区与所述第一Z轴电极区之间，所述第一质量块通过所述第一转轴可枢转的连接于一锚点上；

一第二质量块，所述第二质量块包括第二惯性区和第二Z轴电极区，还包括一第二转轴设置于所述第二惯性区与所述第二Z轴电极区之间，所述第二质量块通过所述第二转轴可枢转的连接于所述锚点上；

所述第一Z轴电极区及所述第二Z轴电极区同一朝向的表面设置有用以减轻质量的凹陷；

所述第一惯性区的质量大于所述第一Z轴电极区的质量，所述第二惯性区的质量大于所述第二Z轴电极区的质量；

一基底，所述第一质量块及所述第二质量块连接后形成的可枢转结构设置于所述基底上方，且所述凹陷朝上；

所述基底上设置有第一电极，所述第一电极设置于所述基底对应所述第一Z轴电极区及所述第二Z轴电极区的位置；

所述第一电极的顶面高于所述基底的上表面，通过减小所述基底的厚度以及增加所述第一电极的高度来减小所述第一电极与质量块之间的间隙；

所述凹陷位于所述第一Z轴电极区和所述第二Z轴电极区的上表面，且在所述凹陷关于所述锚点对称的位置设置凸起增加质量；

所述第一Z轴电极区远离所述锚点的一侧到所述锚点的距离小于所述第一惯性区远离所述锚点的一侧到所述锚点的距离；

所述第二Z轴电极区远离所述锚点的一侧到所述锚点的距离小于所述第二惯性区远离所述锚点的一侧到所述锚点的距离。

2.如权利要求1所述的微机电系统的三轴加速度计，其特征在于，还包括：

至少两个高度相同的所述第一电极，所述至少两个第一电极的顶面分别与所述第一Z轴电极区及所述第二Z轴电极区对应的面之间具有预设距离的间隙。

3.如权利要求1所述的微机电系统的三轴加速度计，其特征在于，还包括：

所述第一惯性区设置有X轴加速度感应区，所述X轴加速度感应区包括两对中心对称的X轴感应电极；和/或

所述第二惯性区设置有Y轴加速度感应区，所述Y轴加速度感应区包括两对中心对称的Y轴感应电极。

4.根据权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，所述第一转轴与所述第二转轴平行，且对应一三维坐标系的Z轴方向。

5.根据权利要求3所述的三轴加速度计，其特征在于，所述第一惯性区包括一第一镂空区，所述X轴加速度感应区设置于所述第一镂空区，并通过一对第三转轴连接于所述第一惯性区；

所述第三转轴对应三维坐标系的X轴方向；

所述第二惯性区包括一第二镂空区，所述Y轴加速度感应区设置于所述第二镂空区，并通过一对第四转轴连接于所述第二惯性区；

所述第四转轴对应所述三维坐标系的Y轴方向。

6.根据权利要求5所述的三轴加速度计，其特征在于，所述第一质量块、所述第二质量块、所述X轴加速度感应区以及所述Y轴加速度感应区通过刻蚀工艺一体成型；

所述第一转轴、所述第二转轴、所述第三转轴以及所述第四转轴由所述刻蚀工艺所形成的悬梁形成。

7.根据权利要求3所述的三轴加速度计，其特征在于，第一Z轴加速度感应区呈凸块状，所述第二质量块上设有匹配于所述第一Z轴加速度感应区的凹槽；

第二Z轴加速度感应区包括至少一个凸块，所述第一质量块上设有匹配于所述第二Z轴加速度感应区的至少一个所述凹槽；

所述第一质量块与所述第二质量块关于所述锚点展开成180度时，所述第一质量块的所述凸块嵌于所述第二质量块的所述凹槽中，所述第二质量块的所述凸块嵌于所述第一质量块的所述凹槽中。

8.根据权利要求3所述的三轴加速度计，其特征在于，所述X轴感应电极形成的阵列与所述Y轴感应电极形成的阵列之间具有90°的夹角。