[发明专利]一种柔性金属复合纤维多孔材料及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种柔性金属复合纤维多孔材料，其特征在于，包括金属多孔材料柔性基层和通过磁控溅射或化学气相沉积冶金结合在所述金属多孔材料柔性基层纤维表面的钨沉积层；所述金属多孔材料柔性基层包括金属纤维纱线、金属纤维织物、金属纤维棉或金属纤维网。

2.根据权利要求1所述的柔性金属复合纤维多孔材料，其特征在于，所述金属纤维纱线由2～6股金属长丝加捻制成；所述金属长丝的丝径为1～20μm，长度大于1000mm。

3.根据权利要求1或2所述的柔性金属复合纤维多孔材料，其特征在于，所述金属多孔材料柔性基层的材质包括不锈钢、钛、钛合金、铜、铜合金、镍和镍合金中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的柔性金属复合纤维多孔材料，其特征在于，所述钨沉积层的厚度为金属多孔材料柔性基层纤维丝径的0.1～10倍。

5.权利要求1～4任意一项所述柔性金属复合纤维多孔材料的制备方法，其特征在于，当通过磁控溅射制备时，包括以下步骤：

以高纯钨靶为溅射源，以氩气为工作气体，对所述金属多孔材料柔性基层进行磁控溅射沉积钨层，得到所述柔性金属复合纤维多孔材料；

当通过化学气相沉积制备时，包括以下步骤：以钨的前驱体气体和还原性气体为反应气体，通入载气，对所述金属多孔材料柔性基层进行化学气相沉积，在金属纤维表面形成钨沉积层，得到所述柔性金属复合纤维多孔材料；所述钨的前驱体气体为卤化钨气体。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射的溅射功率大于150W，工作压力小于20Pa。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述钨的前驱体气体为WF₆气体或WCl₆气体；所述还原性气体为H₂或SiH₄；所述载气为Ar、He或N₂。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，当钨的前驱体气体为WF₆气体时，所述化学气相沉积的沉积温度为400～700℃，压强为100～10⁵Pa；WF₆气体与还原性气体的摩尔比为1:1～1:5；

当钨的前驱体气体为WCl₆气体时，所述化学气相沉积的沉积温度为700～1200℃，压强为100～10⁵Pa；WCl₆气体与还原性气体的摩尔比为1:1～1:5。

9.根据权利要求5～8任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射或化学气相沉积后，还包括对所得材料进行热处理；所述热处理的温度为1000～1600℃，时间为0.5～5h。

10.权利要求1～4任意一项所述柔性金属复合纤维多孔材料或权利要求5～9任意一项所述制备方法得到的柔性金属复合纤维多孔材料在核辐射防护领域中的应用。