[发明专利]一种可升降的硅片储存装置

说明书

本发明公开一种可升降的硅片储存装置，其包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降，该装置能将研磨机研磨好的硅片进行储存，同时能对硅片上残留的研磨液进行清洗，并且能自动计数硅片数量，实现将研磨机处理后的储存到该装置内的硅片半自动的进行清洗，向下运输及快速计数，将多步工作一次完成，大大提高了生产效率，减少了人力成本，及人工计数所带来的误差，适合推广。

技术领域

本发明属于硅片加工技术领域，具体地说涉及一种可升降的硅片储存装置。

背景技术

半导体研磨机设备由于自身设备功能所限，导致设备整体高度较高，人员需要再一定高度的平台上取放硅片，且硅片上粘有研磨液需要进行清洗。

现有技术中，加工好的硅片放置在存放盒中，当需要时，人工从高处搬运下来，再通过清洗，使加工好的硅片转换为下一步可用的硅片，高处搬运过程难免会发生磕碰，造成硅片碎裂，同时等待清洗的时间会减慢生产效率，增加工作人员的工作负担。

因此，现有技术还有待于进一步发展和改进。

发明内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种可升降的硅片储存装置，该装置能实现硅片从高处自动转运，同时在存储过程中直接对硅片进行清洗，提高生产效率。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种可升降的硅片储存装置，其包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降。

优选的，所述框架包括横杆和竖杆组成的框架本体、设置在框架本体上齿条同侧的背板，所述背板上设置有导轨。

优选的，所述导轨设置为两个，两个导轨分别竖向设置在背板两边缘处，升降台对应导轨处设置有滑块。

优选的，所述框架还包括设置在背板对应侧竖杆上的角钢滑道。

优选的，所述角钢滑道设置为两个，两个角钢滑道分别竖向设置在竖杆上，升降台对应角钢滑道处设置有滑轮。

优选的，所述储存箱包括水箱箱体、设置在水箱箱体顶部的水箱盖、设置在水箱箱体内部的用于放置硅片的卡盒、设置在水箱箱体底部的排液口、及与排液口相连的排液管。

优选的，所述卡盒为上端无盖的长方体结构，所述卡盒侧面及底面上设置有通孔，所述通孔阵列设置。

优选的，所述卡盒设置为多个，多个卡盒存放硅片的数量相同。

优选的，所述储存箱还包括设置在水箱箱体一侧的进液口，所述水箱箱体中液位最高高度高于水箱箱体内卡盒高度。

有益效果：

本发明提供一种可升降的硅片储存装置，该装置能将研磨机研磨好的硅片进行储存，同时能对硅片上残留的研磨液进行清洗，并且能自动计数硅片数量，实现将研磨机处理后的储存到该装置内的硅片半自动的进行清洗，向下运输及快速计数，将多步工作一次完成，大大提高了生产效率，同时，减少了人力成本，及人工计数所带来的误差，适合推广。

附图说明

图1是本发明具体实施例中一种可升降硅片储存装置的整体结构示意图；

图2是本发明具体实施例中一种可升降硅片储存装置未安装储存箱及防护罩的结构示意图；