[发明专利]一种掩膜板组件

说明书

本申请公开了一种掩膜板组件，用于制造目标基板，该掩膜板组件包括掩膜架、可膨胀件和掩膜网，掩膜架上设置有连接面，掩膜架在连接面开设有凹槽；可膨胀件设置于凹槽内靠近掩膜架中心位置的一端；掩膜网搭接在掩膜架连接面一侧，且与可膨胀件连接；其中，可膨胀件沿凹槽背离掩膜架中心方向，可随目标基板膨胀而膨胀，以拉伸掩膜网而使得掩膜网趋于平整。本申请掩膜板组件能够减小掩膜网的下垂量，有利于提高蒸镀精度。

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，特别是涉及一种掩膜板组件。

背景技术

在蒸镀时，目标基板使得目标基板与FMM(Fine Metal Mask，高精密度掩膜板)之间热膨胀系数存在较大差异，导致目标基板与掩膜网上掩膜开口之间产生蒸镀偏位的现象发生。同时，又由于掩膜网本身的下垂量，也会导致掩膜网与目标基板之间存在间隙，导致蒸镀源蒸镀于目标基板上产生贴合不良的现象发生。

发明内容

本申请提供一种掩膜板组件，能够减小掩膜网的下垂量，有利于提高蒸镀精度。

为解决上述技术问题，本申请提出一种掩膜板组件，用于制作目标基板，掩膜板组件包括：掩膜架，掩膜架上设置有连接面，掩膜架在连接面开设有凹槽；可膨胀件，设置于凹槽内靠近掩膜架中心位置的一端；掩膜网，搭接在掩膜架连接面一侧，且与可膨胀件连接；其中，可膨胀件沿凹槽背离掩膜架中心方向，可随目标基板膨胀而膨胀，以拉伸掩膜网而使得掩膜网趋于平整。

其中，可膨胀件与掩膜网接触的表面平整，且可膨胀件与掩膜网固定连接。

其中，掩膜架任一对侧边各设有一凹槽，凹槽沿掩膜架侧边延伸，可膨胀件的长度与凹槽的长度匹配，凹槽的底面和可膨胀件底面形状匹配。

其中，可膨胀件与掩膜网的接触面靠近掩膜架中心位置一端与掩膜网间隔设置，远离掩膜架中心位置一端与掩膜网固定连接。

其中，间隔设置的空间设置有第一填充件，第一填充件与掩膜架、掩膜网均接触，且第一填充件的膨胀系数小于或等于掩膜架的膨胀系数。

其中，凹槽内设置有第二填充件，可膨胀件的一端连接第二填充件，另一端连接凹槽靠近掩膜架中心位置的端部，第二填充件与掩膜网固定连接，其中可膨胀件靠近掩膜网的一侧接触或低于掩膜网，可膨胀件膨胀以驱动第二填充件拉伸掩膜网而使得掩膜网趋于平整，第二填充件的膨胀系数小于或等于掩膜架的膨胀系数。

其中，可膨胀件和掩膜网之间设置有第三填充件，第三填充件位于凹槽内，第三填充件与掩膜网固定连接，其中第三填充件与第二填充件固定连接，第三填充件的膨胀系数小于或等于掩膜架的膨胀系数。

其中，第二填充件和凹槽之间设置有滑移件，以使得第二填充件或第二填充件与第三填充件通过滑移件背离掩膜架中心位置移动。

其中，滑移件包括滑移导轨和滑移块，滑移导轨和滑移块一个安装于凹槽底面，另一个安装于第二填充件靠近凹槽底面的一侧面上，滑移块滑移于滑移导轨。

其中，可膨胀件为金属件；优选地，金属件为铁材料或铜材料。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请能够使可膨胀件沿凹槽背离掩膜架中心方向延展以及膨胀，进而跟随目标基板膨胀而膨胀，以匹配目标基板的膨胀量，减小目标基板与掩膜网上掩膜开口之间产生蒸镀偏位；同时，可膨胀件膨胀过程中，能够拉伸掩膜网而使得掩膜网趋于平整，减小了掩膜网的下垂量，改善了贴合不良的现象，进而有利于提高蒸镀精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本申请掩膜板组件的蒸镀简图；