[发明专利]一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法

权利要求书

1.一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法，其特征在于，包括：

在加工压电微机械声波换能器阵列时，在底硅上刻蚀多个隔离槽，从而将所述底硅划分为多个换能区域；

在各所述换能区域内刻蚀至少一个空腔；

四个隔离槽围成一个换能区域，多个换能区域呈阵列式排列，换能区域内刻蚀有一个空腔或多个阵列式排布的空腔，多个所述空腔的尺寸均相同；

或者，所述换能区域内刻蚀第一空腔列和第二空腔列；所述第一空腔列包括多个第一尺寸的空腔；所述第二空腔列包括多个第二尺寸的空腔。

2.根据权利要求1所述的一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法，其特征在于，在所述底硅上由下到上依次设置二氧化硅层、顶硅层和多个压电结构；所述压电结构的位置与所述空腔的位置相对应；所述压电结构的尺寸与所述空腔的尺寸相匹配。

3.根据权利要求2所述的一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法，其特征在于，所述压电结构由下到上依次为底电极、压电薄膜和顶电极，当在所述底电极和所述顶电极施加脉冲激励后，所述压电薄膜产生形变，从而形成周期性振荡，发出声波。

4.根据权利要求1所述的一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法，其特征在于，所述空腔的尺寸由设定的谐振频率确定。

5.根据权利要求1所述的一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法，其特征在于，所述底硅上的多个所述换能区域呈阵列式排列。