[发明专利]一种射频超导腔用高纯铌管多次拉伸成型的制造方法

权利要求书

1.一种高纯铌管多次拉伸成型的制备方法，包括下述步骤：

步骤1，选用RRR值大于330的高纯铌板材，对其表面进行砂光、打磨处理，并对板材表面进行清洁；

步骤2，按高纯铌管材展开料尺寸切圆，切圆后去处毛刺；

步骤3，在压力机上安装多次成型模具，将切圆的高纯铌圆板装入所述多次成型模具内，启动压力机工作完成第一次拉伸成型，通过压力机回程力实现脱模，取出一次成型后的高纯铌管；

步骤4，在压力机上再次安装所述多次成型模具，将完成第一次拉伸后的高纯铌管材装入所述多次成型模具内，启动压力机工作完成第二次拉伸成型，通过压力机回程力实现脱模，取出二次成型后的高纯铌管；

步骤5，对二次成型后的高纯铌管车削平口后，酸洗，然后对酸洗后的高纯铌管进行高真空热处理，即得。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤3中，所述第一次拉伸的拉伸系数为0.56～0.59，压边力63～68MPa；所述步骤4中，所述第二次拉伸系数0.61～0.63，压边力42～48MPa。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于：所述步骤5中，所述酸洗的溶液是氢氟酸、磷酸酸、硝酸依次按照体积比1:1:1组合的混合溶液；所述氢氟酸的浓度为30％，所述磷酸的浓度为69％，所述硝酸的浓度为85％。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的制备方法，其特征在于：所述步骤5中，所述酸洗的时间为5-8分钟。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的制备方法，其特征在于：所述步骤5中，所述高真空热处理的条件为：800℃热处理120min，真空度1.0×10^-5。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的制备方法，其特征在于：所述方法还包括：在所述步骤5后继续重复上述步骤3-步骤5)的操作至少一次。

7.权利要求1-6中任一项所述方法制备得的高纯铌管。

8.根据权利要求7所述的高纯铌管，其特征在于：所述高纯铌管材RRR值≥300，其内外径公差小于±0.05mm，长度公差小于±0.1mm，圆度公差小于50μm。