[发明专利]一种太阳能电池制备碱抛光用添加剂及抛光工艺

权利要求书

1.一种太阳能电池制备碱抛光用添加剂，其特征在于由以下质量百分比的原料组成：

无机盐0.1％-5％、缓蚀阻垢剂0.1％-10％、乳化增稠剂0.1％-2.5％、PH调节剂0.1％-3％、余量为去离子水；

以上原料的含量总和为100％。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池制备碱抛光用添加剂，其特征在于：所述无机盐是钾盐、钙盐、钠盐、硫酸盐、硝酸盐、硼酸盐中的一种或者两种以上的组合。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池制备碱抛光用添加剂，其特征在于：所述缓蚀阻垢剂是苯甲酸、乙酸钙、氨基三甲叉膦酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、2-羟基膦酰基乙酸、膦酰基羧酸共聚物、聚环氧琥珀酸、聚天冬氨酸中的一种或者两种以上的组合。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池制备碱抛光用添加剂，其特征在于：所述乳化增稠剂是氯化钠、氯化钾、氯化铵、单乙醇胺氯化物、二乙醇胺氯化物、硫酸钠、磷酸钠、磷酸二钠、三磷酸五钠、月桂醇、肉豆蔻醇、癸醇、己醇、辛醇、鲸蜡醇、硬脂醇、山嵛醇、月桂酸、海藻酸、亚油酸、亚麻酸、肉豆蔻酸、硬脂酸、烷醇酰胺、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐、PEG-150二硬脂酸酯、PEG-150二硬脂酸酯、氧化氨、甜菜碱、甲基纤维素、羧甲基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基甲基纤维素、丙烯酸、马来酸或马来酸酐、甲基丙烯酸、双丙烯酸丁二酯、邻苯二甲酸二丙烯酯、聚氨酯、聚乙二醇中的一种或者两种以上的组合。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池制备碱抛光用添加剂，其特征在于：所述PH调节剂是富马酸、偏酒石酸、柠檬酸、乳酸、苹果酸、酒石酸、冰乙酸、乙酸、己二酸、磷酸、盐酸、富马酸一钠、柠檬酸钠、柠檬酸钾、柠檬酸一钠、磷酸盐、硫酸钙、乳酸钙、乙酸钠、氢氧化钙、氢氧化钾、氢氧化钠中的一种或者两种以上的组合。

6.一种使用权利要求1～5任一项所述太阳能电池制备碱抛光用添加剂的抛光工艺，其特征在于包括以下步骤：

S1、将臭氧保护后的SE硅片放入碱性溶液进行预清洗，去除硅片表面酸残留物及其它溶于碱的杂质；

S2、将完成步骤S1的硅片放入去离子水中清洗，再放入包含所述太阳能电池制备碱抛光用添加剂的碱抛光液中抛光；

S3、将完成步骤S2的硅片放入去离子水中清洗；

S4、将完成步骤S3的硅片放入碱性溶液进行后清洗，去除硅片表面残留的溶于碱的杂质；

S5、将完成步骤S4的硅片放入去离子水中清洗；

S6、将完成步骤S5的硅片放入酸性溶液中进行清洗，去除硅片正面PSG和硅片表面碱残留；

S7、将完成步骤S6的硅片放入去离子水中清洗并烘干。