[发明专利]一种用于高世代TFT基板玻璃面研磨的恒压压合装置

说明书

本发明公开一种用于高世代TFT基板玻璃面研磨的恒压压合装置，包括竖直的压合气缸，压合气缸的活塞杆连接压合辊，压合辊外套设有压合缓冲垫；所述压合气缸的进气口连接进气管、出气口连接排气管，进气管通入压缩空气控制压合辊下降，排气管排出空气控制压合辊上升；进气管设有进气比例阀，根据压合辊下方需压合的玻璃的厚度，进气比例阀调节进气压力，使压合辊作用于玻璃表面的压力保持均匀的恒压；本发明舍弃传统的控制压合高度的方式，在玻璃的厚度发生改变时，采用进气比例阀控制压合辊的下压压力，使压合辊作用于玻璃表面的压力保持均匀的恒压，无需人工调整，且不会出现玻璃从吸附垫上剥离困难的问题，也不会产生剥离破损的问题。

技术领域

本发明涉及玻璃面研磨技术领域，具体是一种用于高世代TFT基板玻璃面研磨的恒压压合装置。

背景技术

高世代玻璃基板在面研磨时需要使用托盘固定玻璃，现有工艺采用在托盘表面粘贴吸附垫，吸附玻璃的非研磨面，保持玻璃的研磨面向上。玻璃托盘表面粘贴吸附垫，用压合辊把玻璃压在吸附垫表面吸附固定。使用气缸推动连杆提升和下压的方式完成压合辊提升和下压，压合辊下压后的高度为压合辊的工作高度，压合辊芯轴使用刚性材料外包覆软性缓冲材质，压辊软性包覆材料轻微的变形以保持对玻璃适当的压力，好的压合效果需保证压力均匀。

压合压力小导致吸附不良在玻璃和吸附垫之间产生气泡，压合压力大，轻则导致剥片困难，重则导致玻璃压烂在玻璃表面。

在实际生产中以下因素可能导致压合不良需要人工对压合辊的高度进行调整，

一、玻璃厚度的改变，批量生产时玻璃存在厚薄差，玻璃厚度改变后需人工调整压合辊工作高度以配合玻璃厚度的改变。

二、托盘的修整，托盘长期使用后存在轻微的变形，为保证托盘表面的平整度需要使用磨削工艺对托盘表面进行修整，修整后的托盘和未修整的托盘存在高度差，如混和使用需调整压合辊工作高度以适应修整后托盘高度的变化。

三、吸附垫长期使用后由于吸附玻璃存在轻微的不可回复形变和未使用的吸附垫存在高度差，如混合使用需调整压合辊高度以适应不同的高度。

现实生产中解决此类问题有两种方案：

一、在连续生产流程中，为保证贴合效果在变更玻璃厚度或更换托盘时人工调整压合辊高度，弊端在于需要经常调整，耗费很大的人力一般不采用。

二、在连续生产线流程中，为保证贴合紧密避免经常性的调整，通常取上限值调整贴合辊的工作高度。这种方式由于压合时压力大导致从吸附垫上剥离玻璃困难，耗费时间长；另外由于压合时压力大导致剥离破损率高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于高世代TFT基板玻璃面研磨的恒压压合装置，该装置能够保证压合辊压在玻璃表面的压力均匀恒定，避免因托盘轻微变形，修正后托盘厚度的变化，玻璃厚度改变等导致的压力不均匀的情况。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于高世代TFT基板玻璃面研磨的恒压压合装置，包括竖直的压合气缸，压合气缸的活塞杆连接压合辊，压合辊外套设有压合缓冲垫；所述压合气缸的进气口连接进气管、出气口连接排气管，进气管通入压缩空气控制压合辊下降，排气管排出空气控制压合辊上升；进气管设有进气比例阀，根据压合辊下方需压合的玻璃的厚度，进气比例阀调节进气压力，使压合辊作用于玻璃表面的压力保持均匀的恒压。

本发明的有益效果是，本发明舍弃传统的控制压合高度的方式，在玻璃的厚度发生改变时，采用进气比例阀控制压合辊的下压压力，使压合辊作用于玻璃表面的压力保持均匀的恒压，无需人工调整，且不会出现玻璃从吸附垫上剥离困难的问题，也不会产生剥离破损的问题。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：