[发明专利]一种去除蚀刻液中油污的方法在审
| 申请号： | 202010814733.4 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN112064031A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 罗国华;顾晓聪;刘碧华 | 申请（专利权）人： | 广东臻鼎环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 王华强 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市东江高新区东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 去除 蚀刻 油污 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：包括如下步骤：
(1)采用高度亲油和吸附油污的材料作为吸附材料，制作过滤隔离网架；
(2)将过滤隔离网架安装与萃取设备上，蚀刻液必须经过过滤网过滤才能进入下一流程；
(3)过滤后无油污的蚀刻液经过调整成份后进入蚀刻工序；
(4)聚集的油污采用捞油网捞取。
2.根据权利要求1所述的一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，吸附材料为纤维材料、碳基材料或陶粒材料。
3.根据权利要求1所述的一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，吸附材料为吸油棉纤维材料。
4.根据权利要求1所述的一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，吸附材料为活性炭毡。
5.根据权利要求1所述的一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，吸附材料为石墨毡。
6.根据权利要求1所述的一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，吸附材料为陶瓷微孔板。
7.根据权利要求1所述的一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，吸附材料为石墨烯。
8.根据权利要求1所述的一种去除蚀刻液中油污的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，吸附材料为膨胀石墨材料。
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