[发明专利]利用单个频率来驱动多谐振MEMS镜

权利要求书

1.一种投影仪，包括：

第一MEMS镜；

第二MEMS镜；

镜预驱动器，被配置为生成预驱动信号，所述预驱动信号具有的频率是所述第一MEMS镜的开度角等于所述第二MEMS镜的开度角的频率，其中所述预驱动信号的所述频率既不是所述第一MEMS镜的谐振频率、也不是所述第二MEMS镜的谐振频率；

第一镜控制电路，被配置为根据所述预驱动信号而针对所述第一MEMS镜生成第一驱动控制信号；

第一镜驱动器，被配置为根据所述第一驱动控制信号而针对所述第一MEMS镜生成第一驱动信号；

第二镜控制电路，被配置为根据所述预驱动信号而针对所述第二MEMS镜生成第二驱动控制信号；以及

第二镜驱动器，被配置为根据所述第二驱动控制信号而针对所述第二MEMS镜生成第二驱动信号；

其中所述第一驱动控制信号和所述第二驱动控制信号由所述第一镜控制电路和所述第二镜控制电路生成，使得所述第一驱动信号和所述第二驱动信号各自具有与所述预驱动信号相同的频率，但是各自具有彼此不同的振幅和相位，从而使得所述第一MEMS镜和所述第二MEMS镜在相同的频率处、以相同且实质上恒定的给定开度角并且彼此同相地移动。

2.根据权利要求1所述的投影仪，其中所述第一MEMS镜的所述开度角等于所述第二MEMS镜的所述开度角的所述频率是所述第一MEMS镜的谐振频率和所述第二MEMS镜的谐振频率的平均值。

3.根据权利要求1所述的投影仪，其中所述第一镜控制电路和所述第二镜控制电路生成所述第一驱动控制信号和所述第二驱动控制信号，使得所述第一驱动信号和所述第二驱动信号在振幅和相位上彼此不同。

4.根据权利要求1所述的投影仪，进一步包括红绿蓝RGB激光源，所述RGB激光源被配置为投射撞击在所述第一MEMS镜和所述第二MEMS镜上的RGB激光束；并且所述投影仪进一步包括VR头戴式耳机外壳，所述VR头戴式耳机外壳具有所述RGB激光源、所述第一MEMS镜和所述第二MEMS镜、所述镜预驱动器、所述第一镜控制电路和所述第二镜控制电路、以及所述第一镜驱动器和所述第二镜驱动器。

5.根据权利要求1所述的投影仪，进一步包括与所述第一MEMS镜相关联的第一镜位置传感器、以及与所述第二MEMS镜相关联的第二镜位置传感器；所述投影仪进一步包括与所述第一镜位置传感器相关联的第一过零检测器、以及与所述第二镜位置传感器相关联的第二过零检测器；其中所述第一镜位置传感器和所述第二镜位置传感器被配置为生成指示所述第一MEMS镜和所述第二MEMS镜的峰值开度角的第一镜感测信号和第二镜感测信号；其中所述第一镜控制电路根据所述预驱动信号、所述第一镜感测信号、以及由所述第一MEMS镜响应于所述第一驱动信号而生成的第一镜感测信号的所检测的过零，来生成所述第一驱动控制信号；并且其中所述第二镜控制电路根据所述预驱动信号、所述第二镜感测信号、以及由所述第二MEMS镜响应于所述第二驱动信号而生成的第二镜感测信号的所检测的过零，来生成所述第二驱动控制信号。

6.一种投影仪，包括：

第一MEMS镜；

第二MEMS镜；

镜预驱动器，被配置为生成预驱动信号，所述预驱动信号具有的频率是所述第一MEMS镜的开度角等于所述第二MEMS镜的开度角的频率，其中所述预驱动信号的所述频率既不是所述第一MEMS镜的谐振频率、也不是所述第二MEMS镜的谐振频率；

第一镜控制电路，被配置为根据所述预驱动信号而针对所述第一MEMS镜生成第一驱动控制信号；

第一镜驱动器，被配置为根据所述第一驱动控制信号而针对所述第一MEMS镜生成第一驱动信号；

第二镜控制电路，被配置为根据所述预驱动信号而针对所述第二MEMS镜生成第二驱动控制信号；以及

第二镜驱动器，被配置为根据所述第二驱动控制信号而针对所述第二MEMS镜生成第二驱动信号；

其中所述第一驱动控制信号和所述第二驱动控制信号由所述第一镜控制电路和所述第二镜控制电路生成，以使得所述第一MEMS镜和所述第二MEMS镜在相同的频率处、以相同且实质上恒定的给定开度角移动。