[发明专利]微器件的转移方法和转移系统

权利要求书

1.一种微器件的转移方法，其特征在于，包括：

将第一激光分为第二激光和第三激光；

将所述第二激光提供给一激光剥离组件，以使所述激光剥离组件将微器件从衬底剥离；以及

将所述第三激光提供给一光镊调节组件，通过所述光镊调节组件将剥离后的所述微器件拾取并转移至一背板。

2.如权利要求1所述的微器件的转移方法，其特征在于，所述光镊调节组件拾取及转移所述微器件在一溶液中进行；其中，所述溶液的折射率小于所述微器件的折射率。

3.如权利要求2所述的微器件的转移方法，其特征在于，还包括：

设置所述溶液的温度小于室温。

4.如权利要求1所述的微器件的转移方法，其特征在于，将所述微器件从所述衬底剥离前，还包括：

在所述微器件上包覆一保护层。

5.如权利要求4所述的微器件的转移方法，其特征在于，所述微器件的数量为多个；所述在所述微器件上包覆一保护层的步骤，包括：

于各所述微器件上沉积一保护层；

对所述保护层进行图案化处理，以除去相邻两个所述微器件之间的所述保护层。

6.如权利要求1至5任一项所述的微器件的转移方法，其特征在于，所述微器件的数量为多个；所述通过所述光镊调节组件拾取所述微器件的步骤，包括：

将所述第三激光分成多束子激光，多束所述子激光提供给所述光镊调节组件，所述光镊调节组件形成多个光镊，多个所述光镊一一对应地拾取多个所述微器件。

7.如权利要求6所述的微器件的转移方法，其特征在于，所述将所述微器件转移至所述背板的步骤，包括：

设置所述光镊调节组件位置固定，将所述背板移动至与所述光镊调节组件对应的位置后，多个所述光镊一一对应地将拾取的多个所述微器件转移至所述背板。

8.如权利要求1至5任一项所述的微器件的转移方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取所述微器件的实时图像，根据所述实时图像进行所述光镊调节组件拾取所述微器件及转移至所述背板的操作。

9.一种微器件的转移系统，其特征在于，所述转移系统用于执行如权利要求1至8任一项所述的微器件的转移方法，所述转移系统包括激光组件、分光镜、激光剥离组件和光镊调节组件；

所述激光组件用于产生第一激光；

所述分光镜用于将所述第一激光分为第二激光和第三激光；

所述激光剥离组件用于接收所述第二激光并将微器件从衬底剥离；以及

所述光镊调节组件用于接收所述第三激光并将剥离后的所述微器件拾取并转移至一背板。

10.如权利要求9所述的微器件的转移系统，其特征在于，所述转移系统还包括拍摄组件；

所述拍摄组件用于拍摄所述微器件的实时图像，所述光镊调节组件根据所述实时图像拾取所述微器件并将所述微器件转移至所述背板。