[发明专利]一种提高氮化铝陶瓷磨削表面平面度的方法

权利要求书

1.一种提高氮化铝陶瓷磨削表面平面度的方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)配置碱性溶液，且将氮化铝陶瓷部件放入所述碱性溶液中浸泡；所述碱性溶液为NaOH溶液和KOH溶液中的一种或者两种溶液的混合溶液，其浓度为5wt％-30wt％；所述碱性溶液的温度为40-60℃；所述氮化铝陶瓷部件在所述碱性溶液中浸泡的时间为5-120min；所述氮化铝陶瓷部件在碱性溶液中浸泡时，打开超声波，其中，超声波的功率为40-60W/inch²；

(2)将经过浸泡的氮化铝陶瓷部件进行清洗；

(3)将清洗后的氮化铝陶瓷部件的表面进行磨削；磨削过程通过机床实现，其中，采用600-800目的砂轮，以30-40m/s的线速度对表面进行磨削，进刀量控制在2-5μm；机床纵向进给速度20-30mm/s，横向进给速度1-3mm/s；所述砂轮为金刚石砂轮。

2.根据权利要求1所述的提高氮化铝陶瓷磨削表面平面度的方法，其特征在于，步骤(2)中使用去离子水对经过浸泡的氮化铝陶瓷部件进行清洗。

3.根据权利要求2所述的提高氮化铝陶瓷磨削表面平面度的方法，其特征在于，步骤(2)中，清洗过程中打开超声波，其中，超声波的功率为40-60W/inch²。

4.根据权利要求3所述的提高氮化铝陶瓷磨削表面平面度的方法，其特征在于，还包括步骤(4)，经过磨削后的氮化铝陶瓷部件进行超声波清洗，其中，超声波的功率为40-60W/inch²，清洗时间为5-10min。