[发明专利]一种非接触式MEMS红外测温传感器及其制作工艺在审
申请号: | 202010820094.2 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN111912533A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 朱磊;魏冬;周晓瑜 | 申请(专利权)人: | 无锡芯奥微传感技术有限公司 |
主分类号: | G01J5/14 | 分类号: | G01J5/14;B81C3/00 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 邓凌云 |
地址: | 214101 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 接触 mems 红外 测温 传感器 及其 制作 工艺 | ||
1.一种非接触式MEMS红外测温传感器及其制作工艺,包括PCB基材1,其特征在于:所述PCB基材1的表面设置有环形焊盘5、模拟数字转换器2、阻容器3、NTC4和MEMES热电堆红外感应器6,环形焊盘5环形粘接在PCB基材1表面,模拟数字转换器2、阻容器3、NTC4和MEMES热电堆红外感应器6均位于环形焊盘5的焊接区域,模拟数字转换器2、阻容器3、NTC4、MEMES热电堆红外感应器6和环形焊盘5之间均通过金线相互导电连接,PCB基材1的表面设置有覆盖环形焊盘5的管壳7,管壳7的内侧安装有滤光片9,管壳7的顶部开设有光窗8。
2.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述模拟数字转换器采用24Bit模拟数字转换器,所述模拟数字转换器内部包含参考电压输出、多路转换器、4-64X可编程运算放大器、24位数模转换器、数字滤波器、DSP、串行通信支持I2C或SPI,支持传感器校正,提高出厂传感器的一致性。
3.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述MEMES热电堆红外感应器和NTC通过银胶粘接在PCB基材的表面。
4.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述滤光片与管壳的内侧壁之间通过UV胶固化粘接,滤光片位于管壳的内侧棱角处位置。
5.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述管壳与PCB基材之间通过锡膏融化粘接,管壳上所开设的光窗位于MEMES热电堆红外感应器的正上方。
6.根据权利要求1所述的一种非接触式MEMS红外测温传感器及其制作工艺,其特征在于,包括以下步骤:
S1.贴片:使用贴片机将阻容器贴装在PCB基材上;
S2.固晶:使用自动化设备吸取模拟数字转换器、MEMES热电堆红外感应器和NTC,MEMES热电堆红外感应器及NTC用银胶固定在PCB基材上,提高导电率,加强散热,保证环境温度的稳定,提高测温精度;
S3.烘烤:将模拟数字转换器、MEMES热电堆红外感应器和NTC的PCB基材放入150°的烘箱进行烘烤;
S4.键合:利用自动化设备,通过超声波将金线焊接到模拟数字转换器、MEMES热电堆红外感应器、NTC与环形焊盘之间,完成芯片的电气连接;
S5.贴片:借助摆盘机将管壳放在特质的TRAY盘上,管壳的内侧朝上,用自动点胶机在管壳内侧点上UV胶,然后在管壳内侧贴上滤光片,送入紫外线固化机中固化;
S6.贴壳:用自动化点胶设备将锡膏涂抹在PCB基材的边框上,通过自动贴合设备将管壳贴在PCB基材上,并通过回流炉使锡膏融化;
S7.分板:使用自动切割机,通过转速为30000r/min的薄金刚石刀片把整片PCB基材分割为单个的温感元件;
S8.检测:自动吸取元件进行光电和电性能检测,元件自动完成检测,不良品剔除;
S9.入库:将检测合格的成品温感元件打包入库。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡芯奥微传感技术有限公司,未经无锡芯奥微传感技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010820094.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种具备多角度展开的节水喷施设备
- 下一篇:一种高山茶叶种植日常管理施肥方法