[发明专利]一种非接触式MEMS红外测温传感器及其制作工艺在审

专利信息
申请号: 202010820094.2 申请日: 2020-08-14
公开(公告)号: CN111912533A 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 朱磊;魏冬;周晓瑜 申请(专利权)人: 无锡芯奥微传感技术有限公司
主分类号: G01J5/14 分类号: G01J5/14;B81C3/00
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 邓凌云
地址: 214101 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 接触 mems 红外 测温 传感器 及其 制作 工艺
【权利要求书】:

1.一种非接触式MEMS红外测温传感器及其制作工艺,包括PCB基材1,其特征在于:所述PCB基材1的表面设置有环形焊盘5、模拟数字转换器2、阻容器3、NTC4和MEMES热电堆红外感应器6,环形焊盘5环形粘接在PCB基材1表面,模拟数字转换器2、阻容器3、NTC4和MEMES热电堆红外感应器6均位于环形焊盘5的焊接区域,模拟数字转换器2、阻容器3、NTC4、MEMES热电堆红外感应器6和环形焊盘5之间均通过金线相互导电连接,PCB基材1的表面设置有覆盖环形焊盘5的管壳7,管壳7的内侧安装有滤光片9,管壳7的顶部开设有光窗8。

2.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述模拟数字转换器采用24Bit模拟数字转换器,所述模拟数字转换器内部包含参考电压输出、多路转换器、4-64X可编程运算放大器、24位数模转换器、数字滤波器、DSP、串行通信支持I2C或SPI,支持传感器校正,提高出厂传感器的一致性。

3.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述MEMES热电堆红外感应器和NTC通过银胶粘接在PCB基材的表面。

4.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述滤光片与管壳的内侧壁之间通过UV胶固化粘接,滤光片位于管壳的内侧棱角处位置。

5.根据权利要求1所述的一种非接触式数字输出MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述管壳与PCB基材之间通过锡膏融化粘接,管壳上所开设的光窗位于MEMES热电堆红外感应器的正上方。

6.根据权利要求1所述的一种非接触式MEMS红外测温传感器及其制作工艺,其特征在于,包括以下步骤:

S1.贴片:使用贴片机将阻容器贴装在PCB基材上;

S2.固晶:使用自动化设备吸取模拟数字转换器、MEMES热电堆红外感应器和NTC,MEMES热电堆红外感应器及NTC用银胶固定在PCB基材上,提高导电率,加强散热,保证环境温度的稳定,提高测温精度;

S3.烘烤:将模拟数字转换器、MEMES热电堆红外感应器和NTC的PCB基材放入150°的烘箱进行烘烤;

S4.键合:利用自动化设备,通过超声波将金线焊接到模拟数字转换器、MEMES热电堆红外感应器、NTC与环形焊盘之间,完成芯片的电气连接;

S5.贴片:借助摆盘机将管壳放在特质的TRAY盘上,管壳的内侧朝上,用自动点胶机在管壳内侧点上UV胶,然后在管壳内侧贴上滤光片,送入紫外线固化机中固化;

S6.贴壳:用自动化点胶设备将锡膏涂抹在PCB基材的边框上,通过自动贴合设备将管壳贴在PCB基材上,并通过回流炉使锡膏融化;

S7.分板:使用自动切割机,通过转速为30000r/min的薄金刚石刀片把整片PCB基材分割为单个的温感元件;

S8.检测:自动吸取元件进行光电和电性能检测,元件自动完成检测,不良品剔除;

S9.入库:将检测合格的成品温感元件打包入库。

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