[发明专利]用于图形转移的线路板及图形转移工艺

说明书

本发明公开了一种用于图形转移的线路板及其图形转移工艺，线路板包括用于在线路板上形成实际图形的目标设计图形区域和用于覆盖显影干膜的图形转移补偿区域，图形转移补偿区域包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，通过在目标设计图形区域的外部设置侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，侧蚀宽度补偿区域包围在目标设计图形区域的外围，避免线路板上的图形在蚀刻后边线会往内收，角位补偿区域额外对目标设计图形区域的角位进行包围，避免线路板上的图形在蚀刻时角位受到两侧蚀刻液攻击而变成圆角，从而改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

技术领域

本发明涉及线路板生产技术领域，特别涉及一种用于图形转移的线路板及图形转移工艺。

背景技术

图形转移是指成膜(贴膜)-曝光-显影-蚀刻-退膜等一系列工序；经过图形转移后，设计图形由电子文件转移到目标衬底上，形成实际图形。图形的角位和边线，在蚀刻过程中受到两侧的蚀刻液攻击，会更快被蚀刻掉，最后导致设计为方角或者尖角的部位，最终蚀刻结果成为一个圆角，图形的边线也会往内收，与设计图形相去甚远。这种偏差在一般的导通功能线路中不会造成大的问题，但是在射频线路的应用场景中，线路的射频性能往往由设计图形来仿真，最终蚀刻结果与设计图形相差太远会造成设计性能与实际性能吻合度低的问题，特别是相对于边缘平缓的图形，角位图形属于尖端，电场能量集中，对辐射影响较大。

发明内容

本发明的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于图形转移的线路板，能够改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

本发明还提供一种线路板的图形转移工艺。

根据本发明第一方面实施例的一种用于图形转移的线路板，包括：

目标设计图形区域，用于在线路板上形成实际图形；

图形转移补偿区域，用于覆盖显影干膜，包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，所述侧蚀宽度补偿区域包括从所述目标设计图形区域的边缘往外扩展第一宽度所得到的区域，所述侧蚀宽度补偿区域的两条相交的边线分别称为第一干膜边线和第二干膜边线，所述第一干膜边线和所述第二干膜边线的相交点称为宽度补偿角点，从所述宽度补偿角点往外延伸第二宽度得到角位补偿角点，从所述角位补偿角点分别延伸出第一角位斜边和第二角位斜边，所述第一角位斜边与所述第一干膜边线相交，所述第二角位斜边和所述第二干膜边线相交，所述角位补偿区域包括所述第一角位斜边、所述第二角位斜边、所述第一干膜边线和所述第二干膜边线所围成的区域。

根据本发明实施例的一种用于图形转移的线路板，至少具有如下有益效果：通过在目标设计图形区域的外部设置侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，侧蚀宽度补偿区域包围在目标设计图形区域的外围，避免线路板上的图形在蚀刻后边线会往内收，角位补偿区域额外对目标设计图形区域的角位进行包围，避免线路板上的图形在蚀刻时角位受到两侧蚀刻液攻击而变成圆角，从而改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

在本发明的一些实施例中，所述目标设计图形区域的两条相交的边线分别称为第一目标边线和第二目标边线，所述第一目标边线与所述第一干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离，所述第二目标边线与所述第二干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离，所述第一目标边线和所述第二目标边线的相交点称为目标图形角点，所述第一目标边线上与所述目标图形角点相距第三宽度的点记为第一圆角点，所述第二目标边线上与所述目标图形角点相距第三宽度的点记为第二圆角点，所述第一圆角点往所述第一干膜边线的方向移动所述第一宽度的距离得到第一交点，所述第一交点即为所述第一干膜边线和所述第一角位斜边的交点，所述第二圆角点往所述第二干膜边线的方向移动所述第一宽度的距离得到第二交点，所述第二交点即为所述第二干膜边线和所述第二角位斜边的交点。