[发明专利]一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 202010823697.8 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111948240A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 张跃飞;屠金磊;张泽 | 申请（专利权）人： | 浙江祺跃科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 311500 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 原位 高温 疲劳 扫描 电子显微镜 | ||
1.一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，包括机架，所述机架上设置有电镜腔室；其特征在于：所述电镜腔室的一侧连接有疲劳室，另一侧连接有蠕变室；所述蠕变室内设置有高温蠕变台，所述蠕变室通过第一控制阀与所述电镜腔室连接，所述疲劳室内设置有高温疲劳台，所述疲劳室通过第二控制阀与所述电镜腔室连接；所述蠕变室内还设置有第一传送机构，所述第一传送机构与所述高温蠕变台连接，所述疲劳室内还设置有第二传送机构，所述第二传送机构与所述高温疲劳台连接。
2.根据权利要求1所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述机架上固定有减震台，所述电镜腔室固定于所述减震台上。
3.根据权利要求1所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一控制阀为第一插板阀，所述第一插板阀与所述电镜腔室的一侧连接，所述蠕变室固定于所述第一插板阀上。
4.根据权利要求3所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述第二控制阀为第二插板阀，所述第二插板阀与所述电镜腔室的另一侧连接，所述疲劳室固定于所述第二插板阀上。
5.根据权利要求1所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一传送机构为第一磁力杆，所述第二传送机构为第二磁力杆。
6.根据权利要求1所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述蠕变室连接有第一分子泵，所述疲劳室连接有第二分子泵，所述电镜腔室连接有电镜分子泵。
7.根据权利要求6所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一分子泵设置于所述蠕变室的下方，所述第二分子泵设置于所述疲劳室的下方，所述电镜分子泵设置于所述电镜腔室的下方。
8.根据权利要求7所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一分子泵、所述第二分子泵、所述电镜分子泵分别用于对所述蠕变室、所述疲劳室以及所述电镜腔室进行抽真空，抽真空度可达到2.0X10-4Pa。
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