[发明专利]量产型高效光伏电池三合一镀膜设备

权利要求书

1.量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，包括有炉管结构、特气源系统、温控系统、所述炉管结构包括有石英管、法兰、固定板、炉门，所述石英管两端皆依次安装有固定板、法兰、炉门，所述法兰四周开设有若干进气孔，所述进气孔与石英管内部连通。

2.根据权利要求1所述的一种量产型量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，所述法兰在圆周方向上还设有冷却水进口、冷却水出口，所述冷却水进口通过冷却水环形通道与冷却水出口接通。

3.根据权利要求2所述的一种量产型量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，所述冷却水环形通道设置在法兰内部，通过冷却水进口通入冷水流经冷却水环形通道后经冷却水出口流出，便于给法兰降温,避免法兰橡胶密封圈融化。

4.根据权利要求1所述的一种量产型量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，所述石英管四周均匀排布有加温装置，所述加温装置通过温控系统控制。

5.根据权利要求1所述的一种量产型量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，所述特气源系统通过特气管路与法兰进气孔连通，使气源能够均匀的通入石英管内，确保薄膜沉积更加均匀。

6.根据权利要求5所述的一种量产型量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，所述特气管路均安装有蝶阀和质量流量计以对气源通入量进行控制。